电子级水检测 GB/T11446.7 氟离子 氯离子 亚硝酸根离子 溴离子 硝酸根

电子级水检测  GB/T11446.7 氟离子 氯离子 亚硝酸根离子 溴离子 硝酸根

GB/T 11446.7‑2013 电子级水中痕量阴离子（F⁻、Cl⁻、NO₂⁻、Br⁻、NO₃⁻）

标准全称：GB/T11446.7‑2013《电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法》，现行有效，2014‑08‑15 实施，替代旧版1997 版。 配套产品规格标准：GB/T11446.1‑2013《电子级水》，规定各等级水质限值。

1、方法适用与方法检出限（MDL）

表格

待测阴离子符号方法检出限 μg/L

氟离子	F⁻	0.7
氯离子	Cl⁻	0.8
亚硝酸根离子	NO₂⁻	1.0
溴离子	Br⁻	1.0
硝酸根离子	NO₃⁻	1.0

同时还可测：磷酸根、根，检出限均1 μg/L；检测原理：抑制型离子色谱‑电导检测器，可直接进样或大体积预浓缩进样测超纯水痕量阴离子。

2、GB/T11446.1‑2013 电子级水各等级限值（μg/L）

表格

项目EW‑Ⅰ 级EW‑Ⅱ 级EW‑Ⅲ 级EW‑Ⅳ 级

氟离子 F⁻	≤1	—	—	—
氯离子 Cl⁻	≤1	≤1	≤10	≤1000
亚硝酸根 NO₂⁻	≤1	—	—	—
溴离子 Br⁻	≤1	—	—	—
硝酸根 NO₃⁻	≤1	≤1	≤5	≤500

EW‑Ⅰ：半导体芯片、晶圆清洗超纯水（电阻率≥18.2 MΩ・cm）；EW‑Ⅱ：面板、分立器件；EW‑Ⅲ/Ⅳ普通电子工艺用水。

3、测试关键要点（标准强制要求）

1. 试剂空白用水：必须满足 EW‑Ⅰ 电子级水，防止外来阴离子污染样品。

2. 样品采集：按照 GB/T11446.3‑2013《电子级水测试方法通则》，采用洁净 PFA/PTFE容器，避免玻璃容器溶出、环境空气污染；取样后尽快测试，亚硝酸根易氧化不稳定，不宜久放。

3. 仪器：阴离子分离柱 + 抑制器 + 电导检测器；痕量超纯水样品建议大体积进样 /在线预浓缩，才能稳定达到 μg/L 级别检出限。

4. 标准系列：配制混合阴离子标准工作曲线，覆盖 0～50 μg/L 区间；做空白、加标回收验证。

4、检测备注

1. 该标准为测试方法标准，本身不给出水质合格限值；限值看 GB/T11446.1‑2013产品标准。

2. 亚硝酸根在水样中容易被溶解氧氧化成硝酸根，采样到进样间隔尽量短。

3. 正在立项修订新版 GB/T11446.7，后续将增加铵离子测试项目，但现行检测仍执行 2013 版全国标准信...。

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