电子级水检测 总有机碳TOC GB/T11446.8

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电子级水检测 总有机碳 TOC GB/T11446.8

GB/T 11446.8‑2013《电子级水中总有机碳的测试方法》

现行推荐国标,替代旧版 GB/T 11446.8‑1997;实施日期:2014‑08‑15归口:工业和信息化部电子,CCS:L90;ICS:31.030配套水质分级标准:GB/T11446.1‑2013《电子级水》

1、标准适用范围

规定电子级水中总有机碳TOC的测定方法,适用于半导体行业电子级超纯水,ppb(μg/L)级别低浓度 TOC 检测。

  • TOC 定义:水中全部有机物形态碳的总量;

  • 计算公式:TOC= TC(总碳)− IC(总无机碳)。

  • 2、检测原理(标准规定)

    1. 水样加磷酸调 pH≤2,碳酸盐 / 碳酸氢盐分解为 CO₂,NDIR 红外检测得到IC总无机碳;

    2. 同一份水样用过盐氧化,全部碳转为 CO₂,测得TC总碳;

    3. 差值计算得到 TOC。

    允许仪器类型:紫外‑过盐氧化‑非分散红外法;高温燃烧氧化‑非分散红外法;紫外氧化‑电导率法(行业在线常用)。

    3、GB/T11446.1‑2013 电子级水 4 个等级 TOC 限值

    表格

    等级电阻率 25℃ MΩ・cmTOC 限值 μg/L典型用途
    EW‑Ⅰ≥18.2≤20先进半导体、晶圆清洗
    EW‑Ⅱ≥17≤100集成电路、元器件
    EW‑Ⅲ≥12≤200普通电子器件制备
    EW‑Ⅳ≥0.5≤1000设备冷却、粗清洗

    注意:SEMI 国际半导体标准限值更严(1‑5 μg/L),企业内控常严于国标要求。

    4、关键操作要点(标准要求)

    1. 样品采集:全程防有机污染;容器必须经过超纯水充分浸泡清洗;避免空气接触,无机碳会受空气中CO₂干扰;采样后尽快测试。

    2. 仪器校准:标准碳标液做校准曲线,相关系数 R²≥0.999;严格控制空白,空白值是 ppb 级 TOC测试成败关键。

    3. 干扰:空气中 CO₂、容器溶出有机物、试剂带入碳,是主要误差来源;

    4. 检出限:标准方法可做到0.5 μg/L(0.5ppb)级别。

    5、报告要求

    出具 CMA/CNAS 报告时:

  • 检测依据写:GB/T11446.8‑2013;

  • 限值依据写:GB/T11446.1‑2013;

  • 写明仪器氧化方式、检出限。

  • 6、和其他 TOC 标准区分

  • GB/T 11446.8‑2013:电子级超纯水(ppb级别)

  • HJ 501‑2009:环境污水地表水(ppm 级别)

  • GB/T 32116:循环冷却水 TOC

  • USP<643>:制药纯化水 TOC

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