意核实
电子级水检测 总有机碳 TOC GB/T11446.8
现行推荐国标,替代旧版 GB/T 11446.8‑1997;实施日期:2014‑08‑15归口:工业和信息化部电子,CCS:L90;ICS:31.030配套水质分级标准:GB/T11446.1‑2013《电子级水》
规定电子级水中总有机碳TOC的测定方法,适用于半导体行业电子级超纯水,ppb(μg/L)级别低浓度 TOC 检测。
TOC 定义:水中全部有机物形态碳的总量;
计算公式:TOC= TC(总碳)− IC(总无机碳)。
水样加磷酸调 pH≤2,碳酸盐 / 碳酸氢盐分解为 CO₂,NDIR 红外检测得到IC总无机碳;
同一份水样用过盐氧化,全部碳转为 CO₂,测得TC总碳;
差值计算得到 TOC。
允许仪器类型:紫外‑过盐氧化‑非分散红外法;高温燃烧氧化‑非分散红外法;紫外氧化‑电导率法(行业在线常用)。
表格
| EW‑Ⅰ | ≥18.2 | ≤20 | 先进半导体、晶圆清洗 |
| EW‑Ⅱ | ≥17 | ≤100 | 集成电路、元器件 |
| EW‑Ⅲ | ≥12 | ≤200 | 普通电子器件制备 |
| EW‑Ⅳ | ≥0.5 | ≤1000 | 设备冷却、粗清洗 |
注意:SEMI 国际半导体标准限值更严(1‑5 μg/L),企业内控常严于国标要求。
样品采集:全程防有机污染;容器必须经过超纯水充分浸泡清洗;避免空气接触,无机碳会受空气中CO₂干扰;采样后尽快测试。
仪器校准:标准碳标液做校准曲线,相关系数 R²≥0.999;严格控制空白,空白值是 ppb 级 TOC测试成败关键。
干扰:空气中 CO₂、容器溶出有机物、试剂带入碳,是主要误差来源;
检出限:标准方法可做到0.5 μg/L(0.5ppb)级别。
出具 CMA/CNAS 报告时:
检测依据写:GB/T11446.8‑2013;
限值依据写:GB/T11446.1‑2013;
写明仪器氧化方式、检出限。
GB/T 11446.8‑2013:电子级超纯水(ppb级别)
HJ 501‑2009:环境污水地表水(ppm 级别)
GB/T 32116:循环冷却水 TOC
USP<643>:制药纯化水 TOC
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