【产品概述】
聚焦环（FocusRing）与衬底支架位于晶圆边缘，用于调节等离子体密度分布并固定晶圆。由于处于等离子体鞘层边缘，其承受的离子轰击尤为剧烈。我司采用热喷涂氧化钇涂层技术，为这些关键部件提供定制化防护。
【核心技术优势】
定制化电学性能：通过调整涂层配方与厚度，可控制聚焦环的电导率，使其与硅晶圆匹配，优化边缘刻蚀均匀性。
高耐刻蚀速率：氧化钇涂层的刻蚀速率远低于传统碳化硅或石英材料，显著延长部件更换周期，降低耗材成本。
抗热应力剥落：针对聚焦环的热膨胀系数进行涂层匹配设计，确保在高温等离子体环境下涂层不脱落、不开裂。
【应用场景】
刻蚀机聚焦环、衬底支架、静电卡盘外围支撑环。
【技术参数参考】
涂层材料：氧化钇（Y₂O₃）/ YAG复合材料
电导率：可调（绝缘至半导体级）
涂层结合力：≥ 30 MPa
尺寸精度：涂层后精密研磨，公差 ±0.01mm
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昆山照动贸易有限责任公司是经营进出口贸易的贸易公司，开展国内外贸易，合作生产，转口贸易等方式的经营业务，成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中国区的一级代理商，主要经营denka代理商，denka碳黑，氧化钇，稀土氧化钇喷粉，半导体氧化钇稀土，氧化钇喷粉，高纯氧化钇，等离子氧化钇喷涂，DENKA球形氧化铝，氧化钇陶瓷粉，半导体氧化钇粉，热喷涂氧化钇粉，高纯氧化钇粉末，氧化钇喷涂粉体，等离子喷涂氧化钇陶瓷粉，超音速喷涂氧化钇...
