【产品概述】
在ICP（电感耦合等离子体）刻蚀设备中，介电窗（如石英或氧化铝材质）用于将RF能量耦合至腔室内部，同时需承受等离子体的直接轰击。我司采用热喷涂技术在介电窗表面沉积透明氧化钇涂层，在保持高透光率的同时，大幅提升其耐刻蚀寿命。
【核心技术优势】
高透光率与低射频损耗：特种工艺制备的氧化钇涂层在可见光及红外波段保持高透过率，且介电损耗极低，确保RF能量高效传输。
抗氟等离子体腐蚀：有效抵御CF₄、SF₆等氟基等离子体的侵蚀，防止视窗表面因腐蚀变模糊或产生麻点，保障光学监测与工艺稳定性。
致密无裂纹结构：通过优化喷涂参数与热膨胀匹配设计，涂层与基体结合紧密，在频繁热循环下不产生微裂纹，杜绝颗粒脱落。
【应用场景】
ICP刻蚀器介电窗、等离子体腔室观察窗、高能激光器窗口。
【技术参数参考】
涂层材料：透明/半透明氧化钇（Y₂O₃）
透光率：可见光区 > 80%
涂层厚度：50μm - 150μm
射频损耗：极低，适配13.56MHz/2MHz等频段
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昆山照动贸易有限责任公司是经营进出口贸易的贸易公司，开展国内外贸易，合作生产，转口贸易等方式的经营业务，成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中国区的一级代理商，主要经营denka代理商，denka碳黑，氧化钇，稀土氧化钇喷粉，半导体氧化钇稀土，氧化钇喷粉，高纯氧化钇，等离子氧化钇喷涂，DENKA球形氧化铝，氧化钇陶瓷粉，半导体氧化钇粉，热喷涂氧化钇粉，高纯氧化钇粉末，氧化钇喷涂粉体，等离子喷涂氧化钇陶瓷粉，超音速喷涂氧化钇...
