【产品概述】
静电卡盘（ESC）是刻蚀与薄膜沉积设备中固定晶圆并控制温度的核心部件。其表面直接暴露于等离子体中，且需承受高频RF偏压。我司专为ESC开发的氧化钇介电陶瓷涂层，兼具优异的耐等离子体刻蚀性与高绝缘性，是保障晶圆吸附稳定与工艺洁净度的关键。
【核心技术优势】
高绝缘与介电稳定性：氧化钇具有极高的直流电阻与良好的介电性能，在高频RF环境下不发生击穿，确保静电吸附力均匀稳定。
抗热冲击与耐磨损：涂层具备出色的热稳定性，能够承受刻蚀过程中的频繁热循环，且表面硬度高，有效抵抗晶圆传输过程中的机械摩擦。
表面平整度控制：通过精密喷涂与后续研磨工艺，涂层表面粗糙度可控制在微米级，避免局部电场集中导致的晶圆损伤。
【应用场景】
刻蚀机、CVD/PVD设备中的静电卡盘（ESC）上表面及边缘防护。
【技术参数参考】
涂层材料：高纯氧化钇（Y₂O₃）
体积电阻率：> 10^12 Ω·cm
表面粗糙度（Ra）：< 1 μm
耐温性能：长期耐受 1000℃ 以上高温
denka代理商，氧化钇，稀土氧化钇，半导体氧化钇，氧化钇喷粉，高纯氧化钇，等离子氧化钇喷涂，denka碳黑，DENKA球形氧化铝，新能源汽车空调压缩机品牌平替，denka球形氧化硅，DENKA碳黑LI250，DENKA50压缩品，DENKA碳黑LI435，DENKA碳黑LI400，B&PLUS,B&plus代理,ba
denka代理商，氧化钇，稀土氧化钇，半导体氧化钇，氧化钇喷粉，高纯氧化钇，等离子氧化钇喷涂，denka碳黑，DENKA球形氧化铝，新能源汽车空调压缩机品牌平替，五金工具、电子元器件、金属材料、劳保用品、机械配件、新能源空调压缩机、塑料、橡胶制品、仪器仪表、安全防爆设备、电线电缆、液压气动设备、化工原料（不含危险化学品）、水暖器材、建材、涂料（不含危险化学品
昆山照动贸易有限责任公司是经营进出口贸易的贸易公司，开展国内外贸易，合作生产，转口贸易等方式的经营业务，成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中国区的一级代理商，主要经营denka代理商，denka碳黑，氧化钇，稀土氧化钇喷粉，半导体氧化钇稀土，氧化钇喷粉，高纯氧化钇，等离子氧化钇喷涂，DENKA球形氧化铝，氧化钇陶瓷粉，半导体氧化钇粉，热喷涂氧化钇粉，高纯氧化钇粉末，氧化钇喷涂粉体，等离子喷涂氧化钇陶瓷粉，超音速喷涂氧化钇...
