汉中气体流量可控箱式真空1600度高温通气体马弗炉
- 供应商
- 德耐热（上海）电炉有限公司
- 认证
- 报价
- ￥6000.00元每台
- 品牌
- 德耐热
- 型号
- DNR系列
- 产地
- 国内
- 手机号
- 13122073935
- 联系人
- 宁华东
- 所在地
- 上海市奉贤区海坤路1号1幢
- 更新时间
- 2026-03-27 09:00
一、设备概述集成真空系统与精密气体流量控制的高端热处理设备，采用钼丝加热元件和刚玉炉膛结构，可在真空或可控气氛环境下实现1600℃超高温处理，特别适用于特种陶瓷、硬质合金等材料的烧结工艺。
复合工作模式：
高真空模式（极限真空≤5×10⁻³Pa）
动态气氛控制模式（流量精度±1%）
脉冲通气烧结模式
温度控制系统：
32位ARM处理器PID控制
升温速率0.1-20℃/min可调
高工作温度1600℃（短时1650℃）
炉膛尺寸：180×180×180mm（标准型）
气体流量控制：
质量流量计控制范围：0-5000sccm
支持4路气体独立配比
氧含量在线监测（0-1000ppm）
真空系统：
分子泵+机械泵组
真空度：≤5×10⁻³Pa（冷态）
泄漏率：≤0.3Pa/h
多层复合隔热系统：
氧化锆纤维+石墨反射屏
水冷夹套炉体
气体分布系统：
三维立体布气装置
废气处理接口
三重超温保护
气体压力互锁
应急快速冷却系统
真空安全阀组
碳化硅陶瓷烧结
钨钼合金热处理
第三代半导体材料制备
高温粘结剂烧除
高温度：1600℃
长期工作温度：≤1550℃
控温精度：±1℃
温场均匀性：±3～5℃
升温速率：0～10℃/min 可调
加热元件：硅钼棒（MoSi₂）
炉膛材料：1600 型高纯氧化铝多晶纤维炉膛
测温元件：B 型铂铑热电偶（0～1800℃）
炉膛容积（小型常用）：
200×200×200 mm（约 8L）
300×200×200 mm（约 12L）
标配：双级旋片真空泵
极限真空：≤1Pa
真空漏率：≤0.1%/h
选配：高真空机组（分子泵）可达10⁻³Pa级别
可通气体：N₂、Ar、惰性混合气体等
控制方式：高精度质量流量控制器（MFC）
流量范围：0～10L/min 可调（可定制量程）
流量精度：±1% F.S.
气路配置：
双路独立气路，可切换 / 混合
稳压阀、电磁阀、止回阀
微正压保护，防止空气倒灌
工艺模式：
真空 → 充气 → 微正压烧结
连续通气流动气氛烧结
触摸屏 / 智能仪表控制
多段程序控温（30～50 段）
PID 自整定、超温保护、断偶保护
支持升温、保温、降温曲线编程
双层壳体 + 风冷，炉壳表面温度≤45℃
炉门压紧密封结构，耐高温密封圈
硅钼棒合理布置，温场均匀
炉门安全联锁，防止误操作
高纯氧化铝、氧化锆陶瓷高温烧结
稀土材料、电子陶瓷、微波介质烧结
金属粉末无氧化 / 还原烧结
锂电池材料、催化剂、特种陶瓷热处理
高校、研究所、新材料研发实验室
1600℃必须用硅钼棒
炉膛必须是高纯氧化铝多晶纤维
热电偶必须用B 型铂铑
密封、保温、温控系统全部按高温强化设计
![R514XBI269$JW]FAD_8`E (1) - 副本.jpg](https://img24.11467.com/2024/06-21/2563013020.jpg "R514XBI269$JW]FAD_8`E (1) - 副本.jpg")