LOR系列负性光刻胶增强温度阻抗

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微信号
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品牌
进口
产地
美国
型号
LOR
  1. 分子结构优化‌:

  2. 通过调整聚合物主链结构和交联密度,显著提升热稳定性

  3. 玻璃化转变温度(Tg)高达约190°C,能承受高温烘烤工艺‌

  4. 高温下保持形态稳定,有效防止热膨胀和裂纹形成‌

  5. ‌配方创新‌:

  6. 采用特殊光敏剂组合,增强高温下的化学稳定性

  7. 优化溶剂体系,减少高温处理后的残留应力

  8. 添加热稳定剂,延长高温工作寿命‌

  9. ‌工艺兼容性‌:

  10. 可与PMGI等底层胶配合使用,形成双层结构增强温度阻抗‌

  11. 适用于lift-off工艺,在高温刻蚀后仍能保持图形完整性‌

  12. 兼容TMAH或KOH显影工艺,工艺窗口宽‌

技术参数

参数名称典型值备注
类型负性光刻胶曝光区域交联不溶
热稳定性Tg ~190°C玻璃化转变温度
分辨率0.25µm双层抗蚀成像极限
厚度范围0.1-7µm单次涂覆厚度
显影方式TMAH/KOH一步显影工艺
粘附性优异适用于多种基材

应用领域

  1. ‌半导体制造‌:

  2. 金属剥离工艺(>3µm厚金属)‌

  3. 芯片制造中的金属布线和通孔填充‌

  4. 前端(FEOL)和后端(BEOL)工艺


更新时间
黄金会员
第1年
统一社会信用代码
91350206MAEHFWC70W
成立日期
2025年04月28日

主营产品

显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯

公司简介

主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂  美国PTI粉尘,日本JIS粉尘,德国DMT粉尘,美国AATCC测试用,英国SDC,JAMESH,日本测试用品,理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC 60312标准的试验粉尘。 同时,公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。 满足国内汽车零部件、纤,电子等行业企业的实验...

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