电子级磷酸检测 GB/T28159
⚠️ 版本提示：GB/T 28159‑2011 已于2026‑03‑01废止，现行有效版本：GB/T 28159‑2025全国标准信...。 2011版分 E1（普通电子级）、E2（高纯电子级）；2025 版升级为E1（面板）、E2（8 寸芯片）、E3（12寸先进制程）三级体系。
表格
| 外观 | 目视 |
| 磷酸 (H₃PO₄) 质量分数 | 酸碱滴定 |
| 色度（黑曾） | 比色法 |
| 易氧化物（以 H₃PO₃计） | 滴定 |
| 挥发酸 | 电位滴定（2025 新增） |
| 金属杂质离子（Ag、Al、As、Au、B、Ba、Ca、Cd、Co、Cu、Fe、Ga、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、Pb、Sb、Sn、Sr、Ti、Zn等） | ICP‑MS（痕量 ppb/μg/kg 级别） |
| 阴离子：Cl⁻、SO₄²⁻、NO₃⁻ | 离子色谱 IC |
| 液体颗粒（≥0.2μm） | 液体颗粒计数器 |
表格
| 磷酸含量 | 85‑90 % | 85‑90 % | 85‑90 % |
| 色度，黑曾 | ≤5 | ≤5 | ≤10 |
| 易氧化物 | ≤0.0005% | ≤0.0005% | ≤0.001% |
| 典型金属离子 | ≤1 μg/kg | ≤5 μg/kg | 10‑100 μg/kg |
| 颗粒≥0.2μm，个 /mL | ≤20 | ≤50 | 不作强制 |
| Cl⁻、SO₄²⁻、NO₃⁻ | mg/kg 级严格控制 | mg/kg 级严格控制 | 放宽 |
2011 旧版：E1/E2 两级，无色度、挥发酸项目，颗粒、离子限值宽松于 2025 版。
ICP‑MS：测几十种金属痕量杂质（μg/kg，ppb），电子化学品核心；
离子色谱 IC：测 Cl⁻、NO₃⁻、SO₄²⁻阴离子；
液体颗粒计数器：≥0.2μm 颗粒检测，半导体湿化学品强制；
超纯水系统（18.2MΩ・cm）、超净前处理环境，防止样品污染。
优先选用GB/T28159‑2025，不要用已废止 2011 版做出具报告；
明确等级：E1/E2/E3；
样品要求：PTFE/HDPE 塑料瓶取样，禁止玻璃容器（析出金属离子干扰），避光密封；
可出具 CMA 资质检测报告，用于来料验收、出厂检验、半导体面板供应链审核。
分级：E1/E2 → E1/E2/E3 三档，覆盖 12 英寸先进芯片；
新增色度、挥发酸两项指标；
更新易氧化物、金属离子、阴离子、颗粒全套试验方法；
金属离子、颗粒限值大幅收紧，匹配国内半导体制程。
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