电子级磷酸检测 易氧化物 铝 砷 金 银 硼 钡 镉 钴 铬 铜 铁 镓 钾 锂 GB/T28159

电子级磷酸检测  易氧化物 铝 砷 金 银 硼 钡 镉 钴 铬 铜 铁 镓 钾 锂 GB/T28159

GB/T 28159‑2011 电子级磷酸｜指定检测项目

标准版本：GB/T 28159‑2011《电子级磷酸》，产品分E1（普通电子级）、E2（高纯电子级）两个等级。检测清单：易氧化物、铝、砷、金、银、硼、钡、镉、钴、铬、铜、铁、镓、钾、锂。

1、易氧化物（以 H₃PO₃计）

E1：≤0.005 %

E2：≤0.001 %

试验方法：铈氧化‑亚铁铵滴定法（标准 5.5）全国标准信...。

2、金属杂质限值（μg/kg，GB/T28159‑2011）

表格

元素E1 (普通电子级)E2 (高纯电子级)检测手段

Al 铝	≤200	≤50	ICP‑MS
As 砷	≤100	≤20	ICP‑MS
Au 金	‑	‑	ICP‑MS（标准无强制限值，客户加测）
Ag 银	‑	‑	ICP‑MS（标准无强制限值，客户加测）
B 硼	无指标	≤50	ICP‑MS
Ba 钡	≤100	≤20	ICP‑MS
Cd 镉	≤100	≤20	ICP‑MS
Co 钴	≤100	≤20	ICP‑MS
Cr 铬	≤100	≤20	ICP‑MS
Cu 铜	≤50	≤20	ICP‑MS
Fe 铁	≤300	≤50	ICP‑MS
Ga 镓	‑	‑	ICP‑MS（标准无强制限值，客户加测）
K 钾	‑	‑	ICP‑MS（标准无强制限值，客户加测）
Li 锂	‑	‑	ICP‑MS（标准无强制限值，客户加测）

说明：金 Au、银 Ag、镓 Ga、钾 K、锂 Li在 2011版国标文本没有给出强制限值，属于半导体用户额外要求的痕量杂质，采用ICP‑MS电感耦合等离子体质谱法测试，CMA/CNAS 实验室可做委托检测。

检测要点

1. 金属离子全部采用ICP‑MS，必须使用超纯试剂、PTFE器皿，全程防污染，样品直接稀释进样，不可以普通 ICP‑OES 做 ppb 级判定Chinese St...。

2. 易氧化物为化学滴定，需同步做空白，环境不能带入还原性气体干扰结果。

3. 新版 GB/T28159‑2025 升级为 E1/E2/E3 三档，E3 面向 12 英寸晶圆，金属指标严苛到个位数μg/kg，若做高端半导体建议确认执行版本。

报告输出内容

样品信息、执行标准 GB/T28159‑2011

易氧化物测试结果（%）

14 项元素测试结果（μg/kg）

判定：E1/E2 等级符合性（Au/Ag/Ga/K/Li 只报实测值，无国标判定）

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