优等品 | ≥99.995% | 精密焊接、检漏 |
一等品 | ≥99.99% | 一般保护焊 |
合格品 | ≥99.9% | 充填、一般工业 |
高纯氦 | ≥99.999% | 电子/光纤——按 GB/T 4844 |
杂质分析（O₂、N₂、H₂、Ne、CH₄）：GC-TCD，Ne 需 Ar 载气或质谱确认
CO / CO₂：甲烷化转化 + FID，检出限可达 0.05×10⁻⁶
水含量：电解法/露点仪（GB/T 5832）
He 纯度：φ(He)=−Σ杂质
He ≥ | 99.995% | 99.99% | 99.9% |
Ne ≤ | 15×10⁻⁶ | 40×10⁻⁶ | 协商 |
H₂ ≤ | 3×10⁻⁶ | 5×10⁻⁶ | 500×10⁻⁶ |
O₂ ≤ | 2×10⁻⁶ | 5×10⁻⁶ | 500×10⁻⁶ |
N₂ ≤ | 5×10⁻⁶ | 20×10⁻⁶ | 500×10⁻⁶ |
THC(以CH₄计) ≤ | 1×10⁻⁶ | 5×10⁻⁶ | 500×10⁻⁶ |
H₂O ≤ | 3×10⁻⁶(≈−70℃DP)或协议 | 15×10⁻⁶(≈−42℃DP) | 50×10⁻⁶(≈−28℃DP) |
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