$\varphi(Ar) = -[\varphi(He)+\varphi(H_2)+\varphi(O_2)+\varphi(N_2)+\varphi(CH_4)+\varphi(CO_2)+\varphi(H_2O)+\cdots]$$
结果修约至 0.001%(体积分数)。
仪器:双柱双检测器气相色谱(TCD 测 O₂/N₂/H₂/He,FID 测 THC 经甲烷化或直接进样)
典型配置:
柱1(分子筛 5A 或 13X)→ 分离 O₂、N₂、H₂、He(载气:高纯 Ar 或 H₂)
柱2( / HayeSep)→ 分离 CO、CO₂、CH₄
甲烷化转化炉 + FID 可提高 CO/CO₂ 检出限至 0.05×10⁻⁶
定量:外标法或标准加入法,高纯氩杂质下限可达 0.1×10⁻⁶~0.5×10⁻⁶
纯氩要求 H₂O ≤15×10⁻⁶(≈−42℃DP),高纯氩 ≤2×10⁻⁶~3×10⁻⁶(≈−70℃~−76℃DP)
具体以产品合格证标示等级为准;焊接保护用常按纯氩验收,电子行业按高纯氩验收
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