仪器:GC‑TCD(热导检测器),对高灵敏度需配 FID+甲烷化转化炉测 CO/CO₂/CH₄
色谱柱:
分子筛 5A/13X 柱 → 分离 O₂、N₂、H₂、Ne(He 作载气或反向用 Ar 载气测 He 中 Ne)
/ HayeSep → 分离 CO、CO₂、CH₄
定量:外标法或标准气定量;Ne 在 He 中较难分离,需用高分辨柱或质谱法确认(GB/T 10624规定方法)
典型检出限:O₂/N₂/H₂ 可达 0.5×10⁻⁶~1×10⁻⁶;Ne 约 5×10⁻⁶~10×10⁻⁶(依等级)
工业氦要求 H₂O ≤50×10⁻⁶(≈−28℃DP,Ⅰ类)或 ≤15×10⁻⁶(Ⅱ类/高纯级),按产品等级
具体以产品合格证标示等级为准
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