志昇真空无尘氮气隧道炉烘干线将真空脱泡、氮气低氧保护、百级无尘环境与连续隧道式输送四大技术融为一体，专为半导体封装、光学镀膜及锂电池制造等需要在真空无氧条件下连续烘烤的工艺而设计，实现高效、洁净、无氧的在线生产。
一、技术特点
真空+氮气双重处理：隧道内设多段独立真空腔室，产品依次经历抽真空脱气、氮气回填置换、低氧高温固化。残留氧浓度≤50ppm（可定制≤10ppm），彻底杜绝氧化与气泡。
百级无尘连续输送：HEPA/ULPA过滤与微正压氮气密封，洁净度达Class 100；耐高温防静电特氟龙网带，运行平稳，避免二次污染。
分区独立控温：沿输送方向设置2～5个独立加热区，每区温度单独可调，温度均匀度≤±1.5%，满足阶梯固化工艺。
高密封低泄漏：腔体氦质谱检漏，真空泄漏率≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s，长期保压稳定。
二、核心功能
全自动程控：触摸屏可存储多组配方，设定各段真空度、温度、氮气流量及输送速度，一键启动连续生产。
实时数据追溯：全程记录各区温度、真空度、氧浓度、速度曲线，数据导出或对接MES。
安全联锁：超温报警、真空泵过载、氮气欠压、网带防偏、紧急停机拉线开关。
三、应用领域
半导体封装：底部填充胶真空脱泡固化、银浆无氧烘烤。
光学镀膜：镜片镀膜前真空除气、膜层连续固化。
锂电池：极片真空干燥、电解液浸润前在线除水。
电子灌封：LED、电源模块灌胶后连续真空脱泡固化。
四、应用参数（典型值）
| 温度范围 | 室温～200℃（可选250℃） |
| 温度均匀度 | ≤±1.5% |
| 洁净度 | Class 100 |
| 极限真空 | ≤133Pa |
| 氧浓度 | ≤50ppm |
| 输送速度 | 0.1～2.0 m/min |
| 网带宽度 | 200～800 mm（定制） |
志昇真空无尘氮气隧道炉烘干线以连续化、真空脱气、无氧无尘为核心，助力高端制造实现高效、高可靠的在线烘烤。欢迎定制。
更新时间
- 统一社会信用代码
- 91440300342651815G
- 成立日期
- 2015年06月01日
- 法定代表人
- 彭志强
- 注册资本
- 100
主营产品
工业烤箱，隧道炉，uv机，压膜机、粘尘机、曝光机、全自动涂布烘烤线
经营范围
线路板设备、印刷设备、自动化设备、机械设备及配件、机电设备及配件、五金交电、线路板耗材、印刷耗材、电子产品及电脑周边产品的购销及上门维修；国内贸易，货物及技术进出口.^；
公司简介
志昇专注高端产品贴膜及干燥方案解决:公司集研发、生产、销售于一体，多年来秉持客户至上，服务至上，产品至上。先后建立了光电（LED和LCD）、集成电路（IC）、薄膜按键、车载、摄像头、手机、盖板、通信、五金、塑料、触控式屏幕、电脑、显示器、电容器行业、电子元器件及PCB、FPC、TP、新能源、晶体管、新材料、医疗等多种行业的客户网络。主营产品：烤箱系列：无尘烤箱、氮气烤箱、无氧化烤箱、真空烤箱、压力除泡烤箱、板翘整平烤箱、真空退火炉、全自...