
以下是为高温水平卧式多温区真空气氛管式炉设计的专业技术方案,重点突出多温区协同控制与超高温管式结构特点:
型号:HZ-1700M
系统创新设计
◆ 多温区精准耦合
三温区独立控制(可扩展至五温区,各区长200-500mm可调)
温区重叠梯度控制(过渡区温度波动≤±2℃)
主从PID联动算法(防止温区相互干扰)
◆ 超高温管式结构
刚玉复合炉管(耐温1800℃,抗热震性能提升50%)
旋转式法兰密封(支持10万次启闭寿命)
核心性能参数
温度系统
工作范围:200~1700℃(钼镧合金加热体)
恒温区一致性:±1.5℃(ASTM E1582标准测试)
大升温速率:15℃/min(各温区独立可调)
真空与气氛
极限真空:3×10⁻⁴Pa(分子泵+磁悬浮泵组)
气氛切换时间:<3分钟(真空↔气氛模式)
关键结构优化
▸ 水平对中系统(激光校准,偏心率<0.1mm/m)
▸ 模块化炉管设计(可快速更换为石英/碳化硅管)
▸ 内置导轨系统(支持样品舟自动推进)
智能控制系统
► 温区协同编程(支持50段曲线×3温区联动)
► 三维温度场模拟显示(预判热场分布)
► 故障自诊断(加热体/真空泵状态实时分析)
安全防护体系
双重超温保护(电子+机械式熔断)
温区隔离阀(单区故障时自动物理隔离)
应急惰性气体填充系统(5秒快速响应)
典型高端应用
第三代半导体外延生长(SiC/GaN)
高温化学气相沉积(HT-CVD)
核燃料棒封装测试
超长纳米线合成
定制化选项
✓ 双炉管并联系统(对比实验同步进行)
✓ 集成质谱分析端口(反应过程气体监测)
✓ X射线衍射窗口(原位晶体结构分析)
(完全对应你需求:卧式、多温区、1700℃、硅钼棒加热、真空 + 气氛、管式实验炉,可直接用于技术方案、采购、招标)
高温度:1700℃
连续工作温度:≤1650℃
结构形式:水平卧式(Horizontal)
温区配置:双温区 / 三温区 / 四温区(多段独立控温)
控温精度:±1℃
恒温区均匀性:±2~3℃(多区精准补偿)
加热元件:U 型硅钼棒 MoSi₂(1700℃专用)
测温元件:B 型铂铑热电偶(每温区 1 支)
每温区独立加热、独立控温、独立编程
可实现:
超长均匀温场
梯度温度分布(如 ℃)
分区升降温,适合CVD、气相沉积、长样品烧结、晶体生长
控制器:7 寸触摸屏多回路集成控制,50 段程序 / 每区
炉管:高纯氧化铝刚玉管 Al₂O₃(Φ50~Φ150mm)
炉膛:1800 级氧化铝多晶纤维,耐高温、不粉化、寿命长
炉体:对开式(开启式),散热快、装拆样品方便、保护炉管
极限真空:≤10Pa(-0.098MPa)
配置:双级旋片真空泵 + 数显真空计 + 电磁阀 + 止回阀
密封:310S 不锈钢法兰 + 高温氟橡胶密封圈,保压好、不漏气
支持气氛:N₂、Ar、O₂、惰性 / 氧化气氛
气路:1~3 路独立进气,精密质量流量计 / 浮子流量计
工作模式:预抽真空 → 充气氛 → 微正压保护
安全:单向阀、超压安全阀、防倒灌、防爆装置(可选)
水平卧式安装,稳定、适合长管、长样品
双层风冷炉壳,外表温度<60℃
炉门法兰快开结构,操作便捷
可加装:观察窗、进样舟、支架、水冷法兰(高温选配)
长条形陶瓷 / 晶体高温烧结
氧化物单晶生长、CVD 气相沉积
真空气氛热处理、防氧化烧结、退火
高校、科研院所、新材料实验室高端高温实验

垂直吊烧管式炉,实验管式烧结炉,开启式管式炉, 高温管式烧结炉,真空气氛管式炉
马弗炉,高温炉,箱式炉,气氛炉,管式炉,升降炉,台车炉,熔块炉等二十多种炉型
一般项目:烘炉、熔炉及电炉销售;机械设备研发;新材料技术研发;普通机械设备安装服务;仪器仪表销售;电气设备修理;通用设备修理;货物进出口;技术进出口;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
德耐热(上海)电炉有限公司已经拥有超过20种标准化工业电炉,处理温度从400℃到1800℃。应用领域有:陶艺、陶瓷、化工、实验室和牙科、金属和塑料热处理及表面处理技术、铸造、玻璃等。产品系列有箱式电炉、马弗炉、高温电阻炉、管式气氛炉、真空气氛炉、梯度电炉、井式电炉、钟罩式电炉、台车电炉、坩埚保温及熔化电炉、井式电炉等各种规格的工业电炉。这些电炉广泛应用于各生产企业和各大院校及研究机构。程控仪表具有自动升温、保温、降温、停机、超温保护、可...