HSQ-光刻胶/SOG
- 供应商
- 厦门良厦贸易有限公司
- 认证
- 联系电话
- 0592-6013840
- 手机号
- 15396145919
- 销售
- 石进良
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
- 更新时间
- 2024-12-02 11:08
hsq (hydrogen silses polymers)是⼀种半导体级纯度的氢倍半硅氧烷聚合物。作为半导体⾏业的⼀种重要材料应⽤于超⾼分辨euv光刻、电⼦束光刻，以及作为旋涂玻璃层（sog）应⽤于半导体⾏芯⽚表⾯平坦化层和介电层以及中间层等。
为了满⾜各位⽼师对⾼品质电⼦束光刻胶的需求，汇德信与加拿⼤a建⽴深度合作关系，旨在为各位⽼师提供灵活且易于存储的h-siox（hsq）超⾼分辨率电⼦束负胶产品。
aqm开发了⼀种⽅便且通⽤的⽅法来合成电⼦级倍半硅氧烷基（由硅和氧核，h-siox组成）树脂。这类聚合物/树脂是⼀款超⾼分辨率的电⼦束负胶⽤于纳⽶电⼦器件制造过程。我们的h-siox聚合物具有佳的分⼦量，可以在普通有机溶剂（例如甲苯和甲基异丁基酮）中制成均匀的溶液，获得⾼质量薄膜。可以获得具有⼩于10nm半周期（视光刻胶厚度）的密集图案。