§扩散炉：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，用2~8英寸工艺尺寸
系统组成：扩散炉主机、升降丝杠、微机控制柜等组成。
主要技术指标：
★炉管内径：¢90~¢500
★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）
★气体种类：n2、h2、o2、hcl等
★气源控制：mfc或浮子流量计
★推拉舟行程：大1800mm
★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min
★冷却方式：水冷+风冷
设备特性：
控制系统分类产品：
温控系统包括：日本fp23+sr23+sr23配置、日本mi13配置、以及日本fp93配置等等…
触摸屏配置包括：日本三菱、日本欧姆龙、日本松下、厦门宇电、以及公司自制研发8500系列高精度控温系统…控制柜、
气路管件控制系统：日本山武、日本smc、德国费斯托、以及国产七星华创等品牌…