小型干式真空泵 DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500
- 供应商
- 厦门良厦贸易有限公司
- 认证
- 联系电话
- 0592-6013840
- 手机号
- 15396145919
- 销售
- 石进良
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
- 更新时间
- 2024-05-21 11:08
排气速度
50l⁄min、230l⁄min、500l⁄min 3种产品
■ 极限压力
dsp50：20pa、dsp250 ⁄ 500：0.5pa
■ 洁净排气
没有油蒸气，粒子的逆流
■ 无润滑油
无同步齿轮，也不需要润滑油
■ 携带方便
小型，轻量，抗外部干扰
■ 空冷规格
不需要冷却水
■ 初期排气时间短
大气压附近排气速度快
■ 节能
低消费电力設計
用途
・sem，光刻
・医疗设备
・装载室，搬送室排气
・分析仪器
・加速器，离子源，电子枪的排气
・一般产业
・pvd ・r&d
规格
外观尺寸表
性能曲线
| 型 号 | dsp50 | dsp250 | dsp500 | |
| 排气速度 (l/min) | 大 | 50 | 230 | 500 |
| 开放气镇时 | 36 | 200 | 430 | |
| 极限压力 (pa) | 通常 | 20 | 0.5 | |
| 开放气镇时 | 200 | 2.0 | ||
| 连接形式 | 吸气口 | kf16 | kf25 | kf40 |
| 排气口 | rc1 | kf25 | ||
| 所需电力 (w) | 极限压力时 | 230 | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||
| 电源 | 电压（v） | 100-240 | 100-230 | |
| 频率（hz） | 50/60 | |||
| 相数 | 单相 | |||
| 容许变动电压 | ±10% | |||
| 冷却方式 | 空冷 | |||
| 重量（kg） | 9 | 15 | 20 | |
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