新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M

新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵tg397m / tg427m / tg907m / tg1307m 的特长

省电力设计

工作数据，轴承接触次数，机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                                              　　        ※进行保养时即使更换控制器，数据也可进行转移

多种通信规格(可对应ethercat)

国际规格

符合ce，semi-s2，nrtl规格