TG390M磁悬浮轴承型涡轮分子泵
- 供应商
- 厦门良厦贸易有限公司
- 认证
- 联系电话
- 0592-6013840
- 手机号
- 15396145919
- 销售
- 石进良
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
- 更新时间
- 2024-05-01 11:08
全方位安装
■轻巧设计
■节能
■分子泵停止与启动时间短
■附带维护警报机能
■低振动
■无需调整
■自动校准
■可控制转子旋转速度
■大流量排气
■多种通信模式
■符合安全规格 nrtl/semi-s2/ce
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・fpd制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
| 吸气口法兰 | vg100 cf100 iso-b100 | |
| 排气速度 | n2 (l/s) | 340 |
| n2(附加金属保护网)(l/s) | 320 | |
| h2 (l/s) | 290 | |
| 大压缩比 | n2 | 1×108 |
| h2 | 4.5×103 | |
| 极限压力 | vg・iso-b/cf (pa) | <1×10-6 /<1×10-7 |
| vg・iso-b/cf (torr) | <7.5×10-9 /<7.5×10-10 | |
| 大气体流量※1 | n2 (sccm) | 2000 |
| 启动时间 | (min) | 2~3 |
| 停止时间 | (min) | 4~5 |
| 允许辅助压力 | (pa / torr) | 400 / 3 |
| 推荐辅助泵 | (l/min) | ≧160 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | vg･iso-b/cf(kg) | 14/17 |
| 特殊规格 （详情请咨询销售人员。） | -耐腐蚀型 -耐反应生成物型 tg-mi -极低振动型 tg-ml | |
※1：辅助泵的容量是320l/min情况下的大容许流量
[ 使用周囲温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于对应的气体种类请咨询销售人员。
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