主要技术参数：
罐体：*太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，镜面抛光；门两侧布置两个外挂式靶筒；上盖布置四对磁控靶孔位，两对一组，抽气口两侧布置两列四支弧源。*布气管路。*放气阀加装空气滤清器。
标准件：密封圈，气路部件，不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
磁控靶：8支圆柱磁控靶，定向溅射，直接冷却，钛靶材；两支一对，工件架内外侧各二对，炉体上盖板安装。
全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线
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