真空镀膜机PVD1516

主要技术参数：

1. 极限真空度：6 x10-4；

2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；

3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜10分钟；

4. 压升率：0.35Pa/小时；

5. 自转轴中心距：370mm；

6. 工位：8个（工件架Zui大自转半径为160mm）；

7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。

罐体：*太钢SUS304不锈钢带水冷套结构；十二支弧源位，分四列，每列三支交错排布。*布气管路。*放气阀加装空气滤清器。

标准件：密封圈，气路部件，不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。

全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线。

详情请登录公司网站 www.vleadvac.com或电话咨询 024-25359076

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