主要技术参数：
1. 极限真空度：8.0x10-4pa；
2. 工作真空度：6.67x10-3pa；
3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3pa，＜15分钟；
4. 压升率：0.5pa/小时；
5. 自转轴中心距：210mm；
6. 工位：20个（工件架大自转半径为180mm）；
7. 电气控制系统：plc全自动控制，可动行多种工艺设置。
罐体：*太钢sus304不锈钢带水冷套结构，镜面抛光；上盖布置十二对磁控靶孔位，抽气口两侧排布两列八支弧源，门上两个观察窗。*布气管路。*放气阀加装空气滤清器。
标准件：密封圈，气路部件，不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
磁控靶：12对圆柱磁控靶，定向溅射，直接冷却，钛靶材；工件架内外侧各12支，内外靶在与炉体中心连线上，炉内上盖板安装。
全自动电气控制系统：三菱q系列plc及触摸屏、fcs410型气体流量控制器、hy99401b复合真空计、flx12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线。
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