三维表面测量仪InfiniteFocus G5

一款全方位的3d光学测量仪
infinitefocusg5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
和高效
led环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
高分辨，高可重复性和可溯源
即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
高测量速度
infinitefocus的测量速度可以达到170万点/秒。
模块化和可扩展性
新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合全自动
测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

自动变焦三维表面测量仪infinitefocusg5的主要技术参数：

位移范围（x轴、y轴、z轴）：100mm×100mm×100mm
样品表面结构：表面形貌ra＞9nm，lc=2μm，取决于表面结构
大样品高度：100mm ～ 345mm
大样品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
大扫描高度：22.5mm
大扩展视野范围：10000mm2
大单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
小测量高度：0.01μm
大测量高度：22.5mm
大测量范围：10000mm2
大测量形貌长度：100mm
小可重复性：0.001μm
小测量粗糙度（ra）：0.03μm
小测量粗糙度（sa）：0.015μm
小测量半径：1μm
小测量垂直角度：20°
大测量倾斜角度：87°