有机热蒸发镀膜机

供应商
北京维意真空技术应用有限责任公司
认证
报价
230000.00元每台
联系电话
010-67947887
手机号
15611171559
销售部经理
于磊
所在地
北京市大兴区旧桥路25号院
更新时间
2021-11-16 15:44

详细介绍

设备配置:

一、手套箱 

1.金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台:  

1.1 箱体尺寸:双工位手套箱,长度约1800 mm。箱体预留镀膜

机接口法兰,手套箱后板可安装一台镀膜机,手套箱内具有

安装器件封装与性能检测装置的空间。  

1.2 配置4只手套,可方便实现沉积室取送样品,以及器件封装

与性能检测等操作。  

1.3 配置≥ 2套kf40标准接口。  

 

2.手套箱技术指标与功能要求:  

2.1箱体材料:不锈钢箱体。  

2.2箱体结构:具有可拆卸的安全玻璃视窗;配双层不锈钢物

架;带有安全阀;  

2.3密封性:视窗与箱体之间无泄漏,手套口与手套和视窗之

间密封良好、耐用,无泄漏。  

2.4泄露率:≤ 0.05vol%/h,泄漏率可检测;h2o <1ppm,

o2< 1ppm。  

2.5 净化效率:高净化效率,再生间隔时间长。 

2.6过渡仓:手套箱的箱体外侧各另设置一个过渡舱,过渡仓

尺寸≥ 150mm,长度为300 mm。

2.7传送及操作方式:过渡仓内设置可滑动托盘,样品可通过

移动托盘传送至手套箱内,托盘易于拆卸;手动操作。  

2.8控制系统:用户友好的中英文操作界面的触屏。实现以下

控制功能:工作压力调节、箱内气体自动清洗、箱内气氛

自动报警、显示操作错误提示、可手动或自动检测泄漏率

等。  

2.9 其他附件: (1)真空泵,气体纯化系统:气体纯化柱、

循环风机、有机溶剂吸附柱;  (2)水、氧分析仪:分析

仪精度0.2 ppm或以上;分析仪输出可直接连接到触摸控制

屏,可对气体循环系统进行自动控制,实现自动循环;可设

定报警值;  (3)箱内电源接口:配多孔电源插座。  (4)

手套箱总体功能要求:样品送入大(或小)过渡仓后,可在

高纯气氛或真空气氛条件下实现有机薄膜沉积、金属电极薄

膜沉积、器件封装及性能检测等功能。  (5)手套箱验收

标准:使用99.999%惰性气源,空箱运转,箱内水氧含量均

小于1ppm。  

二、真空热蒸发镀膜机系统 

1. 技术要求:  

1.1真空度: 极限真空<2.5*10-5pa,工作真空度< 8*10-4pa,

抽速:从大气抽至10-4pa用时应≤ 30min;  

1.2样品架: (1)可对样品实施360度电动旋转,转速可

在0 ~ 30转/min内连续调节。 (2)高度可调,蒸镀

距离在120-250mm范围内可调节。  

1.3样品尺寸:样品基本尺寸为15×15mm/块,可分别承装如

下数量的样品:  (1)3块×3块排列方式,可承装9块

/次。  (2)4块×4块排列方式,可承装16块/次。 

1.4各密封接口真空漏率≤5×10-9torr?l/s(用进口氦质谱

检漏仪检测)。  

1.5膜厚控制设备:膜厚探头2个,探测数据可同时显示在膜

厚仪上。  

1.6样品台(基片台)配备挡板,蒸发源配备可有效防止不同

材料交叉污染的遮挡装置。  

2. 配置:  

2.1真空沉积腔体:具有观察窗,手动开门设置方便取样和

进样。  

2.2镀膜机与手套箱的连接方式: 要求镀膜机位于手套箱外

(背后),蒸发室在手套箱内有方形门,可实现样品由手套

箱内直接传进蒸镀室。要求蒸镀室与箱体之间无泄漏,蒸

镀室口与手套箱接口密封良好、耐用,无泄漏。  

2.3要求蒸发室在手套箱外另有一个门,手动开门设置,便于

清理和维修操作。  

2.4 蒸发源4套:可蒸发金(au)、银(ag)、铬(cr)、钛(ti)、

铝(al)、铂(pt)、氧化钼(moo3)和lif等材料。蒸发

源相关的其他要求如下:  (1)蒸发电极可加载蒸发舟

或者钨篮,配备标准钼舟及钨蓝各10个。  (2)蒸发电

源1套,可转换供四套蒸发源使用,可在一次抽真空操作

后实现4种材料的顺次蒸镀,既可连续蒸镀4层不同材料。 

2.5真空获得系统:预抽机械泵1个,分子泵1个以及相应的

附件,分子泵水冷系统;分子泵与沉积室之间具备闭锁条

件。  

2.6升降样品架。  

2.7真空测量系统。  

2.8膜厚测试系统。  

2.9工作台:含真空计,蒸发源电源和相应控制系统,加热源

控制系统,膜厚测量系统,总电源控制区。  


镀膜机,热蒸发镀膜机,磁控镀膜机,磁控溅射镀膜机

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