脉冲激光沉积镀膜设备
- 供应商
- 北京维意真空技术应用有限责任公司
- 认证
- 报价
- ¥138500.00元每套
- 联系电话
- 010-67947887
- 手机号
- 15611171559
- 销售部经理
- 于磊
- 所在地
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 更新时间
- 2021-11-16 15:44
1. 溅射真空室组件1套,球型真空室尺寸Ф300mm,选用真空专用
304#不锈钢材料制造氩弧焊接,表面进行喷玻璃丸处理。各法
兰口按超高真空系统设计,采用金属密封。
2. 采用一套600l/s分子泵+4l/s机械泵通过cf150超高真空闸
板阀进行主抽,通过cf35角阀旁抽。
3. 封接观察窗2个, Ф100石英玻璃窗口1个(248nm紫外波段,
供激光入射用的)
4. 电磁隔断放气阀:(北京)kf40 1台。
5. 分子泵与机械泵连接金属波纹管 1套; 机械泵与真空室之间的
旁抽金属波纹管管路及cf35角阀1套。
6. cf150闸板阀:用于分子泵与真空室隔离。
7. 真空测量及电控系统1套,zdf数显复合超高真空计(全部采
用金属规管) 1台 。
8. 总控电源:为机械泵、真空计等提供电源,有断电断水缺相保护
功能1套。
9. 机架:方钢型材(40mm×40mm×3),焊接成,,四只脚
轮,可固定,可移动。
10. 附件相关规格的金属密封铜圈,氟橡胶密封圈全套不锈钢紧固螺
栓、螺母、垫片等;全套无氧铜密封垫圈(相关规格)cf16:3
个;cf35:3个;cf150:2个;cf100:4个;
11.相关的技术资料各类外购件使用说明书:设备结构原理图及关键部件结
构图(1套)电控系统原理结构图(1套)装箱单(1套)设备出厂合
格检验证明(1套
11. 工作条件及主要技术参数:供电:~380v三相五线供电系统(容量
5kw)。相对湿度;≤80﹪。
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