镇江特气管路五项测试

行业通用合格标准为常规特气管路氧含量≤10ppb，超高纯半导体特气管路需≤5ppb，且测试过程无持续数值上升趋势。管路氧含量超标主要有三大诱因，一是管路吹扫置换不彻底，死角、弯头处残留空气；二是管路存在微泄漏，外界空气持续渗入；三是阀门、密封件密封性能不佳，长期运行出现微量进气。氧含量轻微超标可通过延长氮气吹扫时长整改，严重超标需重新开展氦检漏排查漏点，整改完成后复测，达标后方可投入供气。

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