南通特气管路五项测试

目前特气管路通用的氦检漏方式为真空喷氦法，适配绝大多数高纯、超高纯特气输送管路。测试前期需对管路抽真空，将管路内部真空度抽至5×10⁻²mbar以下，排除内部空气杂质，保证检测精度。随后在管路焊缝、法兰、接头、阀门等易泄漏点位均匀喷洒50%浓度氦气，同时开启氦质谱检漏仪实时监测。仪器可精准捕捉微量氦气泄漏信号，自动计算泄漏率。相较于负压吸氦法、积氦法，真空喷氦法检测精度更高、漏点定位更精准，可检测1×10⁻¹⁰cc/sec级别的微小泄漏，满足半导体超高纯管路检测需求。

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