安顺箱式高温抽真空1200度氮气保护烧结炉

本设备为高性能多功能烧结系统，集成了高真空、高温（1200℃）及氮气保护功能，适用于陶瓷、金属粉末、电子元器件等材料的精密烧结工艺。

2. 核心参数

| 项目 | 技术指标 | |------|----------| | 高温度 | 1200℃（可定制1600℃） | | 温控精度 | ±1℃ | | 极限真空 | ≤6.67×10⁻³Pa（分子泵机组） | | 氮气纯度 | ≥99.999% | | 均温区尺寸 | 300×300×300mm（可定制） | | 升温速率 | 0-15℃/min可调 |

3. 系统组成

1. 加热系统：

2. 优质硅钼棒加热元件

3. 六面体加热设计（专利布局）

4. 分段PID智能控制（32区温场补偿）

5. 真空系统：

6. 干式涡旋泵+分子泵机组

7. 真空度三级可调（低/中/高真空模式）

8. 真空联锁保护装置

9. 气体系统：

10. 高精度质量流量控制器（0-500SCCM）

11. 双向气体置换功能（抽充循环≥3次）

12. 氧含量在线监测（≤1ppm）

13. 安全防护：

14. 双重超温保护（硬件+软件）

15. 压力安全阀（爆破片装置）

16. 紧急泄压系统（＜5秒响应）

4. 工艺特点

支持多段工艺编程（≥50个程序段）

可配置梯度烧结模式（温度/气压梯度）

具备烧结曲线记忆功能

可选配快速冷却模块（水冷/气冷）

5. 应用领域

特种陶瓷烧结（Al₂O₃/ZrO₂等）

硬质合金真空烧结

高端电子陶瓷封装

纳米材料热处理

半导体器件制备

6. 设备优势

1. 节能设计：多层绝热结构（热损失＜5%）

2. 智能控制：7寸触摸屏+HMI控制系统

3. 数据追溯：支持UEX/PDF格式工艺报告

4. 模块化结构：便于维护升级

一、核心工作原理

采用 “预抽真空 + 多次氮气置换” 工艺，营造超低氧、高纯度氮气保护环境：

1. 预抽真空：启动真空泵，将炉内空气、水汽抽至真空状态（低真空：~10⁻¹~10⁻²Pa；高真空可选）。

2. 氮气置换：冲入高纯氮气（≥99.999%），反复 “抽真空→充氮气” 循环 3–5 次，将炉内氧含量降至≤5ppm。

3. 微正压保护：烧结全程维持微正压（0.01–0.02MPa），防止外界空气渗入。

4. 程控烧结：按设定曲线升温、保温、降温，完成无氧化 / 低氧烧结。

二、标准技术参数（1200℃级）

表格

项目典型规格

高温度	1200℃ (长期工作≤1150℃)
控温精度	±1℃ (PID 自整定 + 30~50 段程序)
温场均匀性	±5℃ (炉膛有效区内)
炉膛材质	高纯氧化铝纤维 / 莫来石纤维 (1800 型)
加热元件	硅碳棒 (1200℃级)
真空度	极限：≤-0.095MPa (机械泵)；可选高真空
气氛控制	氮气 N₂，流量 0.1~20L/min (MFC±1% 精度)
炉压控制	微正压 0.01~0.02MPa
炉膛容积	实验室：3L~45L；工业：可定制
电源	380V/50Hz，功率 4~15kW (依容积)
密封	硅橡胶 / 氟橡胶 + 金属密封，水冷炉门

三、设备结构组成

1. 炉体

2. 双层壳体（风冷 / 水冷），炉壳表面温度≤60℃。

3. 前开式炉门，手轮 / 气动锁紧，高强度密封结构。

4. 加热与保温系统

5. 侧 / 顶 / 底多区加热，温场均匀。

6. 多层陶瓷纤维复合保温，低热容、节能。

7. 真空系统

8. 机械泵（标配）；可选配罗茨泵 / 分子泵（高真空）。

9. 真空阀、真空计、管路系统。

10. 气氛控制系统

11. 高纯氮气路、减压阀、质量流量控制器 MFC、稳压阀。

12. 排气 / 泄压装置，维持微正压。

13. 智能控制系统

14. 7~10 寸触摸屏，可编程温控仪表。

15. 曲线存储、故障报警、数据记录。

16. 安全系统

17. 超温、断偶、过流、漏电、过压、欠压、气体泄漏报警。

18. 开门断电、水冷联锁。

四、主要应用领域

粉末冶金：不锈钢、硬质合金、高熵合金无氧化烧结

先进陶瓷：氧化铝、氧化锆、氮化硅、SiC 基陶瓷致密化

电子材料：MLCC、LTCC、锂电正极材料、石墨负极热处理

功能材料：磁性材料、稀土永磁、超导材料、金属玻璃

金属热处理：钛合金、高温合金、贵金属退火 / 时效

五、典型操作流程（金属 / 陶瓷烧结）

1. 装料→关门→抽真空（至 10⁻¹~10⁻²Pa）

2. 充氮气至微正压，反复置换 3–5 次

3. 程序升温（例：5℃/min → 1150℃）

4. 保温（1–10h，恒压）

5. 程序降温至 < 200℃

6. 充氮至常压→开门取料

六、选型与定制要点

炉膛尺寸：工件尺寸 + 20~30% 间隙，预留气流通道

真空等级：一般工艺选机械泵；低氧选高真空机组

气氛纯度：建议用99.999% 高纯氮，配氧分析（选配）

可选功能：观察窗、快速冷却、多温区、自动进料、MES 接口

七、优势总结

防氧化：氧含量≤5ppm，杜绝高温氧化与杂质

高精度：控温 ±1℃，程序自动化，重复性好

安全可靠：多重联锁与报警，适合氧敏感材料

节能高效：纤维炉膛升温快、散热小