和干涉仪:为乾曜光学将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合,优化光学系统和机械系统结构,使大口径球面干涉仪即适用于光学实验室的精密测量,又适用于光学车间的大批量检验。高精度和成本优势,有利于客户提高产品品质,同时节省成本。选配静态干涉条纹分析软件供选择,实现数字化测量。
球面标准镜头系列:有f0.65,f0.75,f1.0, f1.5,f2.2,f3.3,f7.1和f10.7,f15,f25,f45,和长焦距发散镜头f10d,f15d,f25d,f45d等,可定制其他f数的镜头。标准镜头分别与zygo4英寸和6英寸干涉仪通用。
主要用途:平面、球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等)表面光圈、局部形变的测量,球面曲率半径的测量(配合光栅尺);光学系统的在线监视装调和系统精度测量。
仪器规格参数表
产品型号
,倒立式
,倒立式
有效通光口径
101.6 mm(4英寸)
152.4mm(6英寸)
测量方式
菲索干涉原理
光源
稳频氦氖激光(632.8nm),相干长度大于100米
连续变焦倍数
1-6.7倍
光路切换
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
标准镜头
平面镜,f0.65,f0.75,f1.0,f1.5,f2.2,f3.3,f7.1和f10.7等
球面参照精度
pv:优于λ/15
pv:优于λ/10
平面参考镜精度
pv:优于λ/20
pv:优于λ/20
导轨有效行程
1400mm
仪器尺寸(长x宽x高)
840x450x1700mm
900x450x1800mm
仪器重量
140kg
150kg
电源
ac100-240v 50/60hz
仪器特点:
精度高:标准镜头采用优良的光学、机械设计,并经过高精度装配,性能优异,精度可靠;
调整方便:可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式,方便调整;条纹真实:优良的光学设计,精密的系统装调,保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹;
性能优良:仪器具备良好的隔振性能,适合光学加工现场使用;
测量范围广:配合乾曜光学全系列标准镜头,可以实现如下测量范围:
u 曲率半径测量范围:凸面0-4500mm;凹面:0-5900mm
u 口径测试范围:凸面0-96mm;凹面:0-240mm
u 口径测试范围:凸面0-144mm;凹面:0-300mm
激光干涉仪,干涉仪,球面干涉仪