干涉仪:为乾曜光学将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合，优化光学系统和机械系统结构，将高精度的成像系统和图像采集系统，稳频激光技术和1-6.7倍图像放大功能等一系列高精技术融合，满足科研级高精密光学元件光学系统的测量的高端要求。
干涉仪:为首款国产有效口径6英寸的激光干涉仪，配置6英寸球面标准镜，能够有效地解决大口径凸面镜的面型和曲率测试。
条纹分析软件有移相干涉条纹分析软件和静态干涉条纹分析软件供选择，实现数字化测量。
球面标准镜头系列有f0.65，f0.75，f1.0，f1.5，f2.2，f3.3，f7.1和f10.7，f15，f25，f45，和长焦距发散镜头f10d，f15d，f25d，f45d等，可定制其他f数的镜头。标准镜头分别与zygo4英寸和6英寸干涉仪通用。
主要用途：平面、球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量；光学系统的在线监视装调和系统精度测量。
仪器规格参数表:
产品型号
有效通光口径
101.6mm（4英寸）
152.4mm（6英寸）
测量方式
菲索干涉原理
光源
稳频氦氖激光（632.8nm），相干长度大于100米
连续变焦倍数
1-6.7倍
光路切换
对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
标准镜头
平面镜，f0.65，f0.75，f1.0，f1.5，f2.2，f3.3，f7.1和f10.7等
球面参照精度
pv：优于λ/15
pv：优于λ/10
平面参考镜精度
pv：优于λ/20
pv：优于λ/20
仪器尺寸(长x宽x高)
630x400x410mm
750x420x460mm
仪器重量
40kg
50kg
电源
ac100-240v50/60hz
精度高：标准镜头采用优良的光学、机械设计，并经过高精度装配，性能优异，精度可靠； 数字化：条纹分析软件有移向干涉条纹分析软件和静态干涉条纹分析软件供选择，满足客户不同成本要求 功能强大：标配曲率半径测量系统，实现面型和曲率同步测量；1-6.7倍图像放大功能 纹真实：优良的光学设计，精密的系统装调，保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹 测量范围广：适用大尺寸、大曲率的光学元件的批量检验；卧式设计，适用于测量平面光学元件和光学系统的装调和测试
仪器特点：
激光干涉仪,球面干涉仪,干涉仪,大口径干涉仪