超纯水是指经过深度处理，去除了几乎所有杂质（包括离子、微粒、有机物、微生物等）的水，具有电阻率高（通常≥18.2 MΩ・cm）、总溶解固体含量极低、纯度极高的特点，广泛应用于电子工业（如半导体芯片制造、集成电路生产）、医药行业（如注射剂制备、无菌医疗器械清洗）、精密仪器分析（如高效液相色谱、质谱分析）、实验室研究等领域。
超纯水检测范围
电子级超纯水（半导体用超纯水、电子元件清洗用超纯水等）、医药级超纯水（注射用水、无菌冲洗用水等）、实验室用超纯水（分析实验用水、试剂配制用水等）、电池行业用超纯水（锂电池生产用水、燃料电池用水等）、其他特殊行业用超纯水（如光电行业、航天航空领域用超纯水等）。
超纯水检测项目
理化指标（电阻率、电导率、pH 值、总有机碳（TOC）、总溶解固体（TDS）、硬度、硅含量、微粒数（粒径≥0.1μm、≥0.2μm 等））、金属离子（钠、钾、钙、镁、铁、铜、锌、镍、铬等）、阴离子（氯离子、根离子、硝酸根离子、磷酸根离子等）、微生物指标（细菌总数、内毒素、酵母菌、霉菌等）、有机物（挥发性有机物、半挥发性有机物等）。
超纯水检测方法
理化指标检测法：使用电阻率仪或电导率仪测定电阻率和电导率；采用 pH 计测量 pH 值；利用总有机碳分析仪检测总有机碳含量；通过蒸发称重法或电导率法测定总溶解固体；使用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）检测硅含量；借助激光粒子计数器测定微粒数。
金属离子检测法：采用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）或原子吸收分光光度计（AAS）对水中的金属离子进行定性和定量分析，具有高灵敏度和准确性。
阴离子检测法：运用离子色谱仪（IC）检测水中的各种阴离子含量，可实现多种阴离子的同时分离和测定。
微生物指标检测法：采用薄膜过滤法结合培养基培养测定细菌总数；使用鲎试剂法检测内毒素；通过平板计数法检测酵母菌和霉菌。
有机物检测法：利用气相色谱 - 质谱联用仪（GC-MS）或高效液相色谱仪（HPLC）分析水中的有机物成分及含量。
超纯水检测标准
GB/T 1《电子级水 第 1 部分：通则》
GB/T 1《电子级水 第 3 部分：电阻率的测定》
GB/T 1《电子级水 第 4 部分：总有机碳的测定》
GB 5749-2022《生活饮用水卫生标准》（部分基础指标可参考）
USP 38-NF 33《美国药典》（涉及医药用超纯水相关标准）
ASTM D5127-13《高纯度水的标准试验方法》
实验室用超纯水 , 医药级超纯水 , 电池行业用超纯水
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