高校实验氧化炉 多种规格定制 科研炉 扩散炉 晨立电子
- 供应商
- 青岛晨立电子有限公司
- 认证
- 报价
- ¥60000.00元每台
- 品牌
- 晨立
- 型号
- CL45
- 联系电话
- 0532-88533525
- 手机号
- 13869885308
- 市场部经理
- 姜先生
- 所在地
- 山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园
- 更新时间
- 2024-02-22 13:57
设备用途:实验炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%f.s
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62db(a)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制
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