高真空退火炉+半导体退火炉+热处理炉+晨立 科研炉
- 供应商
- 青岛晨立电子有限公司
- 认证
- 报价
- ¥60000.00元每台
- 品牌
- 晨立
- 型号
- CL4512
- 联系电话
- 0532-88533525
- 手机号
- 13869885308
- 市场部经理
- 姜先生
- 所在地
- 山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园
- 更新时间
- 2024-02-22 13:57
主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流 量设定精度:±1%f.s
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62db(a)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制
产品描述:
◆高性能进口元器件
组合关键件采用进口管件,且为半导体级别;优 质的元器件组合,从而保证成膜质量。
◆高精度温度控制
新型炉体设计,提 高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置,避免了sic桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。
展开全文