退火炉 卧式6寸两管退火炉 晨立电子 氧化扩散炉
- 供应商
- 青岛晨立电子有限公司
- 认证
- 报价
- ¥70000.00元每件
- 品牌
- 晨立
- 型号
- CL
- 联系电话
- 0532-88533525
- 手机号
- 13869885308
- 市场部经理
- 姜先生
- 所在地
- 山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园
- 更新时间
- 2024-02-20 11:55
卧式6寸两管退火炉供大规模集成电路、mems生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺,完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台,主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm,
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100l/min.氩气100l/min。均采用mfc自动控制流量大小。
青岛晨立电子有限公司是一家专注于研发、生产和销售高科技电子设备的公司。多年来,我们始终秉承着品质第一、客户至上的原则,不断创新和进取。我们拥有一支由专业技术人员组成的研发团队,可以为您提供更好的技术支持和售后服务。,我们还拥有一套完善的质量管理体系,确保每一台产品都能达到客户的要求。
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