光刻机 江苏迪盛微电子科技

印刷晒版的操作步骤及工艺流程

曝光机也是晒版机，只是叫法不同。

晒版的工艺流程为：制备感光版-装版-曝光-显影-检查-修正-烤版-提墨-擦胶

检查修正：将曝光、显影后的ps版存在的质量问题加以修正。

烤版：指在高温环境中对ps版的图文基础进行热处理，目的是增强图文部分的稳定性、耐蚀性和机械强度。

提墨：在版面上涂擦显影墨。提墨具有增强图文部分的亲墨性和便于检查等作用。

擦胶：选用一种化学胶质，涂擦到版面上，光刻机，从而使印版抗脏、防尘、防氧化。

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用于pcb工艺中的曝光工序，与传统的底片接触曝光方法有所不同

与传统曝光的差别

1.传统曝光是通过gong灯照射底片将图像转移至pcb上

2.ldi是用激光扫描的方法直接将图像在pcb上成像，图像更精细。

晒版机（曝光机）的工作原理及操作步骤

晒版机是用于制作印版的一种接触曝光成像设备。

操作要求：

（1）在工作过程中印版应保持与玻璃表面的完全接触，真空系统的真空调节的较小范围为0-86.6kpa（0-650mmhg）；关闭晒版机电源后5分钟晒版机的真空度不得降低20kpa(150mmhg)。检测方法如下：将与机器规格相对应的较大尺寸的印版放在晒版机内，闭合真空系统，开启真空泵，用秒表测量真空系统中真空表所显示的真空度达到80kpa(650mmhg)所需时间；然后关闭电源，用秒表计时5分钟，观察真空表所示的真空系统的密封性能。

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