西藏自治纯硅模具 顶旭微控技术有限公司
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- 顶旭(苏州)微控技术有限公司
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- 17751163890
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- 周经理
- 所在地
- 苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室
- 更新时间
- 2023-10-21 10:04
环氧树脂su-8模具硬烤(光刻胶的第三次烤)
第三次也是zui后一次光刻胶烘烤称为“硬烘烤”,这是该过程的zui后一步,但可以是可选的。在工艺结束时,su-8光刻胶内部会保留大量强度,这可能会在表面产生裂纹,甚至分层……硬烘烤会在高温(超过 120°c)下加热 su-8光刻胶压制这些力量。多亏了它,一些裂缝消失了,su-8光刻胶变得更硬了。再次,它与软烘烤和peb相同,光刻胶的增加和冷却必须稍微进行。
1)基底准备
su8模具,通常采用硅衬底,即使晶片是新的,也必须在接收 su-8光刻胶之前准备好。如果在无尘室,可以使用溶液(h2so4+h2o2)清洗,在无尘室外可以用bing酮。在任何情况下,您都必须加热衬底以去除表面上的所有水分。我们建议在120°c 的烤箱中加热 15 分钟。这个加热步骤非常重要,因为它可以让 su-8 更好地粘附在基材上。
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