淮安匀胶机 顶旭
- 供应商
- 顶旭(苏州)微控技术有限公司
- 认证
- 联系电话
- 17751163890
- 手机号
- 17751163890
- 联系人
- 周经理
- 所在地
- 苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室
- 更新时间
- 2023-10-20 20:18
技术参数
曝光光源:紫外led
光源波长:365nm;
曝光面积:4英寸、6英寸可选;
曝光方式:单面接触式定时曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光强度:20~200mw/cm2可调;
曝光不均匀性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源寿命:≥20000h;
电源输入:ac220v±10v,50hz
功率:250w
重量:25kg
外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)
工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
展开全文