半导体衬底 半导体XRD物相分析

半导体xrd测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

如何知道晶体中原子坐标?

　　做单晶 x－射线衍射才能得到原子的坐标。除了四圆外，ccd 也可进行单晶 x－射线衍射。

　　如何根据 x 射线衍射数据计算晶粒尺寸晶格常数和畸变，用什么理论和公式

　　根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下，根据衍射峰的宽化量应用scherrer 公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。你如果需要做这方面的计算，需要增加一些入门知识。

　　哪里能得到小角 x 射线衍射的系统理论包括书、文献、技术、软件？

　　张晉远等， x 射线小角散射. 高等教育出版社，宁夏回族自治半导体衬底， 北京，半导体衬底多少钱， 1990

　　2. y. xiang， et al. materials characterization， 2000， 44(4-5):435-9

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微区xrd

微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90°，其他角度需要先和检测老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5mm）上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

掠入射xrd

掠入射xrd是专门用来测试薄膜样品的手段。测试光是平行光，相对于常规的衍射光来说能量较小，因此掠入射测试xrd的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息，也不容易测到基底，因此掠入射xrd专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求，但是需要测试面平整光洁，不要有遮挡物，这样测试结果才真实可信。

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x射线衍射仪xrd常见问题：

1）为什么要求xrd测试粉末样品要稍微多一些？

因为粉末样品要铺满整个样品台，半导体衬底哪家好，不然x射线可能会打在样品台上，影响数据质量。

2）为什么xrd测试要求薄膜（块体）样品尺寸要合适？

因为放置薄膜（块体）样品的样品台尺寸是固定的，用橡皮泥来固定样品，样品太大放不进去，样品太小不好固定。

3）为什么xrd数据的峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

样品的衍射峰强度跟样品本身的结晶度有关，其次跟样品量以及仪器的功率有关系。

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