PA-6G六维惯性电机组台

供应商
三英精控(天津)仪器设备有限公司
认证
品牌
三英精控
型号
PA-6G
用途
小空间多自由度调整
联系电话
022-29516025
手机号
18526695114
客服
刘女士
所在地
天津市武清开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼
更新时间
2022-07-12 10:00

详细介绍

pa-6g六维惯性电机组台

特点:

小尺寸,高精度

使用场所:

光纤对准,小空间多自由度调整,光学腔室,真空环境。

产品参数:

型号

x轴

y轴

z轴

θx

θy

θz

行程

25mm

25mm

20mm

±5°

±2°

±5°

直线度

±3.5μm

±3.5μm

/

/

/


偏摆

±40″

±40″

/




俯仰

±20″

±20″





摆动

/

/

±10″

±10″

±10″


偏心率

±5μm

±5μm

±5μm




分辨率

18nm

18nm

0.001°

0.001°

0.2″


闭环重复定位精度

±100nm

±100nm

±150nm

±0.005°

±0.005°

±1″

开环小步进量

10nm

10nm

±0.1″




闭环小步进量

200nm

200nm

0.005°

0.005°

±0.4″


端跳







大速度

2mm/s

2mm/s

15°/s

3°/s

3°/s


大负载

1kg

1kg

1kg

0.5kg

0.5kg


驱动方式

惯性电机

惯性电机

惯性电机

惯性电机

惯性电机


 


纳米定位平台,纳米位移台,柔性铰链平台,压电纳米台,纳米压电平台

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