NS-Z25-01柱状Z轴纳米定位台
- 供应商
- 三英精控(天津)仪器设备有限公司
- 认证
- 品牌
- 三英精控
- 运动轴
- NS-Z25-01
- 用途
- 显微成像 光学移相
- 联系电话
- 022-29516025
- 手机号
- 18526695114
- 客服
- 刘女士
- 所在地
- 天津市武清开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼
- 更新时间
- 2022-07-12 10:01
三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成,满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,综合技术指标已达到先进水平。
主要产品:纳米级运动平台系列;微米级宏动系列;纳米位移电容传感器系列;宏微运动集成系统
纳米定位平台
纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。
三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
ns-z25-01柱状z轴纳米定位台
典型应用:
显微成像 光学移相
生物材料分析
光学 光学对准
激光领域 测量
半导体加工 光栅刻写
技术参数:
型号 | ns-z25-01 |
运动轴 | z |
传感器类型 | 电容式 |
闭环行程( μm ) | 25 |
闭环分辨率( nm) | 0.1 |
线性度( % ) | 0.03 |
无负载下谐振频率( hz ) | 4000 |
端口 | d-sub15 |
材料 | 铝合金 |
大负载( kg ) | 1 |
自重( kg ) | 0.02 |
尺寸( mm ) | 44×Φ20 |
适配控制器 | sc100-a/sc300-1/sc400-1 |
注:闭环分辨率与带宽有关。
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
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