硅基氮化铝AlN on Si
- 供应商
- 化合积电（厦门）半导体科技有限公司
- 认证
- 报价
- ￥1000.00元每片
- 产品名称
- AlN on Si
- 直径inch
- 2、4 可定制
- 基底材料
- 500±10um
- 手机号
- 13859969306
- 联系人
- 谢小姐
- 所在地
- 361000
- 更新时间
- 2022-05-10 11:54
硅基氮化铝：
@高质量
@大面积
@低成本
产品名称 | aln on si |
基底材料（substrate） | 500±10um si(100) |
直径（inch） | 2、4 可定制 |
aln外延厚度（thickness） | 50~200nm |
晶面取向（orientation） | c-aixs [0001] |
表面粗糙度（nm）(5x5um) | ra < 1nm (200nm) |
hrxrd半高宽(°) @（0002） | ＜1.5° |
总厚度变化(ttv) | ＜ 7um |
翘曲度(warp) | ＜30um |
弯曲度(bow) | -10 ~15um |
包装（packaging） | 单片/多片晶圆盒 |
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