X射线光电子能XPS可以做哪些分析项目?
发布时间: 2019-09-02
在飞秒检测技术中心,xps的应用还是比较广泛的,可以深入做一些分析项目,比如以下几个:
(1)常规xps分析:宽谱、元素分谱采集及常规数据处理(元素含量和价态分布)
(2)xps深度刨析:氩离子刻蚀,不同深度的xps元素含量分析
(3)角分辨xps:不同出射角度的常规xps元素分析
(4)微区xps分析:成像(mapping或者imaging)选区,微区xps元素含量和价态分析。
(5)xps平行成像:常规xps元素分析,xps平行成像。
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