中微半导体设备（上海）有限公司

简介

基本资料

变更记录

知识产权

欢迎来到中微半导体设备有限公司（简称“中微”）——一家面向全球的微观加工高端设备公司，为半导体行业及其他高科技领域服务。中微的设备用于创造世界上为复杂、精密的技术：微小的纳米器件为创新型产品提供智能和存储功能，从而改善人类的生活、实现全球的可持续发展。中微总部位于亚洲。作为世界制造创新中心，亚洲具有得天独厚的优势：极具活力的供应链大大提高了中微的运营效率。通过中微员工的才智、热情和齐心协力，中微已经成为新型的微观加工高端设备公司，在提高技术水平和生产效率方面取得了重大突破，并且赢得了业内芯片制造商和其他技术创新企业的信任。

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法人名称: 中微半导体设备（上海）有限公司
经营范围: 研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。【不涉及国营贸易管理商品，涉及配额、许可证管理商品的，按照国家有关规定办理申请；依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。
营业执照: 913101157626272806
经营状态: 在业
法人代表: 尹志尧（GERALD ZHEYAO YIN）
成立时间: 2004年05月31日
职员人数: 100人
注册资本: 未公开
公司官网: http://www.amec-inc.com/?lang=zh_CN
所属分类: 半导体分立器件厂黄页

中微半导体设备的股东

股东名字出资比例出资额

上海创业投资有限公司9638.3533

巽鑫（上海）投资有限公司9333.7887

置都（上海）投资中心（有限合伙）2638.3986

ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）2408.9978

嘉兴悦橙创业投资合伙企业（有限合伙）2256.5991

国开创新资本投资有限责任公司1969.1183

Primrose Capital Limited1959.8224

嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）1318.4004

义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）1279.624

上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）1183.483

Grenade Pte. Ltd.1144.2746

Bootes Pte. Ltd.1111.958

嘉兴亮橙创业投资合伙企业（有限合伙）911.2474

嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）903.1568

协鑫创展控股有限公司787.6473

国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）775.5297

上海浦东新兴产业投资有限公司668.631

嘉兴橙色海岸创业投资合伙企业（有限合伙）634.1579

YIN GERALD ZHEYAO620.0266

QUALCOMM Incorporated551.6335

嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）408.7681

上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）387.7648

合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）387.7648

Futago Pte. Ltd.376.7092

MAK STEVE SZE-YEE234.1106

DU ZHIYOU233.1436

LEE STEVEN TIANXIAO207.6657

嘉兴骊威企业管理合伙企业（有限合伙）195.9667

NI TUQIANG127.4358

CHEN WEIWEN116.2842

中微半导体设备的管理人员

名字职务

杨征帆董事

沈伟国董事

朱民董事

LIP-BU TAN董事

DU ZHIYOU（杜志游）董事

刘书林监事

尹志尧（GERALD ZHEYAO YIN）董事长兼总经理

姜银鑫监事

MINORU YOSHIDA董事

余峰监事

分公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司北京分公司北京市北京经济技术开发区荣华南路15号院5号楼4层402室2020-08-26 00:00:00.000

中微半导体设备的工商变更记录

监事备案王志军黄晨 [新增] 邹非 [新增]俞信华 [退出] 余峰 [退出] 王志军2021-12-20

注册资本变更61624.4480万人民币（ + 15.21555% ）53486.2237万人民币2021-12-20

章程备案2021-10-28章程备案2019-07-19章程备案2021-12-20

董事备案HING WONG [新增] 张亮 CHEN SHIMIN 杨征帆朱民张卫陈大同 DU ZHIYOU（杜志游）沈伟国孔伟孔伟张卫 DU ZHIYOU（杜志游）杨征帆张亮 CHEN SHIMIN 沈伟国 LIP-BU TAN [退出] 朱民陈大同2020-07-29

章程备案2019-07-19章程备案2018-12-20章程备案2019-08-30

企业类型变更股份有限公司（中外合资、上市）股份有限公司（中外合资、未上市）2019-08-30

注册资本变更53486.2237万人民币（ + 11.11111% ）48137.6013万人民币2019-08-30

章程修正案备案2018-12-20 章程修正案2018-12-20章程备案2018-12-25

注册资本变更48137.6013万人民币（ + 0.1522% ）48064.4454万人民币2018-12-25

注册资本变更48064.4454万人民币（ + 6.80988% ）45000.0000万人民币2018-12-24

章程修正案备案2018-12-20 章程修正案2018-12-20章程备案2018-12-24

名称变更中微半导体设备（上海）股份有限公司中微半导体设备（上海）有限公司2018-12-21

其他事项2018-12-21~2018-12-07~2018-12-21

董事备案杨征帆沈伟国朱民张卫 [新增] LIP-BU TAN 孔伟 [新增] 张亮 [新增] 陈大同 [新增] CHEN SHIMIN [新增] DU ZHIYOU（杜志游）杨征帆 MINORU YOSHIDA [退出] LIP-BU TAN 沈伟国朱民 DU ZHIYOU（杜志游）2018-12-21

章程备案2018-12-20章程备案2018-12-05章程备案2018-12-21

经营期限变2004-05-31~2004-05-31~2034-05-302018-12-21

注册资本变更45000.0000万人民币（ + 21.83458% ）36935.3273万美元2018-12-21

经理备案无无2018-12-21

监事备案王志军 [新增] 余峰俞信华 [新增]刘书林 [退出] 姜银鑫 [退出] 余峰2018-12-21

企业类型变更股份有限公司（中外合资、未上市）有限责任公司（中外合资）2018-12-21

投资人变更嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 国开创新资本投资有限责任公司; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）; 上海浦东新兴产业投资有限公司; 协鑫科技控股有限公司; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; QUALCOMM Incorporated; [新增] Bootes Pte. Ltd.; [新增] Futago Pte. Ltd.; [新增] Grenade Pte. Ltd.; [新增] YIN GERALD ZHEYAO; [新增] DU ZHIYOU; [新增] NI TUQIANG; [新增] MAK STEVE SZE-YEE; [新增] MEKSAVAN VIGON; [新增] YANG JAMES WEI; [新增] LEE STEVEN TIANXIAO; [新增] CHEN WEIWEN [新增]上海浦东新兴产业投资有限公司; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 协鑫科技控股有限公司; 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 国开创新资本投资有限责任公司; 合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; 上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）2018-12-07

章程修正案备案2018-12-05 章程修正案2018-08-09章程备案2018-12-07

投资人变更上海浦东新兴产业投资有限公司; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 国开创新资本投资有限责任公司; 协鑫科技控股有限公司; 上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）; 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; 协鑫科技控股有限公司; 上海浦东新兴产业投资有限公司; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）; 嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 国开创新资本投资有限责任公司; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; [退出] 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）2018-09-29

章程备案2018-08-09章程备案2018-07-17章程备案2018-09-29

章程备案2018-07-17章程备案2018-04-23章程备案2018-07-31

注册资本变更36935.3273万美元（ + 37.11782% ）26936.9272万美元2018-07-31

董事备案沈伟国 LIP-BU TAN MINORU YOSHIDA 朱民杨征帆 DU ZHIYOU（杜志游）MINORU YOSHIDA LIP-BU TAN 沈伟国 DU ZHIYOU（杜志游）杨征帆朱民2018-07-31

投资人变更义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 上海浦东新兴产业投资有限公司; [新增] 嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）; [新增] 协鑫科技控股有限公司; [新增] 上海自贸试验区三期股权投资基金合伙企业（有限合伙）; [新增] 合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）; [新增] 国开创新资本投资有限责任公司 [新增]ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）2018-07-31

投资人变更巽鑫（上海）投资有限公司; 上海创业投资有限公司; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; PRIMROSE CAPITAL LIMITED; [新增] 置都（上海）投资中心（有限合伙）嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）2018-06-21

境外股东发起人的境内中微半导体设备（上海）有限公司; 中微半导体设备（上海）有限公司中微半导体设备（上海）有限公司2018-06-21

章程备案2018-04-23章程备案2018-01-19章程备案2018-06-21

投资人变更上海创业投资有限公司; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）; [新增] 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）; [新增] 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙） [新增]上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）; 置都（上海）投资中心（有限合伙）; ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC.ASIA（开曼群岛）; 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; 巽鑫（上海）投资有限公司; 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; 上海创业投资有限公司; 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）2018-02-12

注册资本变更26936.9272万美元（ + 8.20678% ）24893.9371万美元2018-02-12

章程备案2018-01-19章程备案2017-08-17章程备案2018-02-12

章程备案2017-08-17章程备案2016-08-25章程备案2017-09-22

注册资本变更24893.9371万美元（ + 34.31139% ）18534.4948万美元2017-09-22

经营期限变2004-05-31~2034-05-302004-05-31~2024-05-302016-12-27

董事备案杨征帆 [新增] 沈伟国 LIP-BU TAN [新增] MINORU YOSHIDA [新增] 朱民 [新增] DU ZHIYOU（杜志游）DU ZHIYOU（杜志游）沈伟国2016-12-27

注册资本变更18534.4948万美元（ + 143.71459% ）7605.0000万美元2016-12-27

经营范围变更研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。【不涉及国营贸易管理商品，涉及配额、许可证管理商品的，按照国家有关规定办理申请；依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备、真空镀膜设备及其他半导体关键设备，提供相关的技术咨询和售后服务，筹建生产以上设备，销售自产产品。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】2016-12-27

监事备案姜银鑫刘书林 [新增] 余峰 [新增]姜银鑫2016-12-27

投资人变更ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛）; [新增] 巽鑫（上海）投资有限公司; [新增] 置都（上海）投资中心（有限合伙）; [新增] 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）; [新增] 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限公司）; [新增] 上海创业投资有限公司; [新增] 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙） [新增]ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛） [退出]2016-12-27

监事备案姜银鑫;刘书林;余峰姜银鑫2016-12-27

董事备案杨征帆;沈伟国;LIP-BU TAN;MINORU YOSHIDA;朱民;DU ZHIYOU（杜志游）DU ZHIYOU（杜志游）;沈伟国2016-12-27

注册资本变更18534.4948万美元7605.0000万美元2016-12-27

投资人变更ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛）;巽鑫（上海）投资有限公司;置都（上海）投资中心（有限合伙）;嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）;上海临鸿投资合伙企业（有限合伙）;嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限公司）;上海创业投资有限公司;上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛）2016-12-27

章程备案2016-08-25章程备案2015-11-06章程备案2016-12-27

企业类型变更有限责任公司（中外合资）有限责任公司（外国法人独资）2016-12-27

经理备案无无2016-12-27

企业类型变更有限责任公司（外国法人独资）有限责任公司（中外合作）2015-12-25

投资人变更ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛） [新增]上海创业投资有限公司; [退出] ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛） [退出]2015-12-25

章程备案2015-11-06章程备案无2015-12-25

董事备案沈伟国 [新增] DU ZHIYOU（杜志游）俞以明 [退出] DU ZHIYOU（杜志游）2015-12-25

监事备案姜银鑫 [新增]无2015-12-25

董事备案沈伟国;DU ZHIYOU（杜志游）俞以明;DU ZHIYOU（杜志游）2015-12-25

监事备案姜银鑫无2015-12-25

投资人变更ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛）上海创业投资有限公司;ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC，ASIA（开曼群岛）2015-12-25

中微半导体设备的注册商标

注册号名称分类状态时间

8847994PRIMOTSV3OOE机械设备商标已注册2010-11-16

6621621AMEC;TT建筑修理商标已注册2008-03-27

5917031PRIMOD RIE建筑修理商标无效2007-02-13

5917048PRIMOHPCVD机械设备商标已注册2007-02-13

5917030PRIMOHPCVD建筑修理商标无效2007-02-13

5917049PRIMOD RIE机械设备商标已注册2007-02-13

5163916AMEC机械设备商标无效2006-02-20

5163917AMEC机械设备变更商标申请人/注册人名义/地址完成2006-02-20

21481950PRISMO A 7机械设备商标注册申请等待受理中2016-10-08

17971744PRIMO NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

17971724NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

14641234PRIMOIDEA机械设备商标注册申请完成2014-06-30

13526040PRIMODSA机械设备商标注册申请完成2013-11-12

10441270PRISMO D-BLUE机械设备商标已注册2012-01-19

10441271PRISMO机械设备商标已注册2012-01-19

8848005PRIMO AD-RIE机械设备商标已注册2010-11-16

8847994PRIMOTSV3OOE机械设备商标已注册2010-11-16

8847993PRIMOTSV200E机械设备商标已注册2010-11-16

6621621AMEC;TT建筑修理商标已注册2008-03-27

5917031PRIMOD RIE建筑修理商标无效2007-02-13

21481950PRISMO A 7机械设备商标注册申请等待受理中2016-10-08

17971744PRIMO NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

17971724NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

14641234PRIMOIDEA机械设备商标注册申请完成2014-06-30

13526040PRIMODSA机械设备商标注册申请完成2013-11-12

10441270PRISMO D-BLUE机械设备商标已注册2012-01-19

10441271PRISMO机械设备商标已注册2012-01-19

8848005PRIMO AD-RIE机械设备商标已注册2010-11-16

8847994PRIMOTSV3OOE机械设备商标已注册2010-11-16

8847993PRIMOTSV200E机械设备商标已注册2010-11-16

6621621AMEC;TT建筑修理商标已注册2008-03-27

5917031PRIMOD RIE建筑修理商标无效2007-02-13

5917048PRIMOHPCVD机械设备商标已注册2007-02-13

5917049PRIMOD RIE机械设备商标已注册2007-02-13

5917030PRIMOHPCVD建筑修理商标无效2007-02-13

5163916AMEC机械设备商标无效2006-02-20

5163917AMEC机械设备变更商标申请人/注册人名义/地址完成2006-02-20

21481950PRISMO A 7机械设备商标注册申请等待受理中2016-10-08

17971724NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

17971744PRIMO NANOVA机械设备商标注册申请受理通知书发文2015-09-24

14641234PRIMOIDEA机械设备商标注册申请完成2014-06-30

13526040PRIMODSA机械设备商标注册申请完成2013-11-12

10441271PRISMO机械设备商标已注册2012-01-19

10441270PRISMO D-BLUE机械设备商标已注册2012-01-19

8847993PRIMOTSV200E机械设备商标已注册2010-11-16

8848005PRIMO AD-RIE机械设备商标已注册2010-11-16

5917048PRIMOHPCVD机械设备商标已注册2007-02-13

5917049PRIMOD RIE机械设备商标已注册2007-02-13

5917030PRIMOHPCVD建筑修理商标无效2007-02-13

5163916AMEC机械设备商标无效2006-02-20

5163917AMEC机械设备变更商标申请人/注册人名义/地址完成2006-02-20

中微半导体设备的专利证书

CN103165374A发明公布2013-06-19一种等离子体处理装置及应用于等离子处理装置的边缘环基本电气元件倪图强;刘志强;杜若昕

CN103898613A发明公布2014-07-02等离子体刻蚀方法王兆祥;梁洁;杨平;李晶

CN103997843B发明授权2017-02-15一种改进气体分布的等离子体反应器其他类目不包含的电技术杨平;石刚;王兆祥;黄智林

CN101928941B发明授权2014-09-03一种用于刻蚀硅的反应离子刻蚀方法对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制崔在雄;安东炫;李柯奋;吴万俊

CN103456591B发明授权2016-04-06自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室基本电气元件罗伟义;许颂临;倪图强

CN103789747A发明公布2014-05-14一种气体喷淋头及制作该气体喷淋头的方法对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制彭帆;徐朝阳;贺小明;左涛涛

CN102513313A发明公布2012-06-27具有碳化硅包覆层的喷淋头的污染物处理方法清洁贺小明;陈振军;倪图强

CN1909184A发明公布2007-02-07真空反应室的射频匹配耦合网络及其配置方法夏耀民

CN102899636A发明公布2013-01-30一种原位清洁MOCVD反应腔室的方法对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制尹志尧;杜志游;孟双;汪洋;张颖;许颂临;朱班;泷口治久

CN106298583A发明公布2017-01-04处理腔、处理腔和真空锁组合以及基片处理系统基本电气元件陶珩;倪图强;王谦

CN103903944A发明公布2014-07-02在多频等离子体处理腔室中实现阻抗匹配的方法和装置基本电气元件梁洁;饭塚浩

CN103794460B发明授权2016-12-21用于半导体装置性能改善的涂层基本电气元件贺小明;张力;陈星建;倪图强;徐朝阳

CN102856146A发明公布2013-01-02一种气体回流预防装置基本电气元件周旭升;倪图强

CN201751976U实用新型2011-02-23一种等离子体处理装置许颂临;凯文·皮尔斯;杜志游;倪图强;雷本亮;陈金元;尹志尧

CN102686004B发明授权2015-05-13用于等离子体发生器的可控制谐波的射频系统其他类目不包含的电技术欧阳亮;钱学明;刘磊;陈金元;倪图强;杜志游;尹志尧

CN201383496Y实用新型2010-01-13静电卡盘基本电气元件罗伯特·赖安;倪图强

CN103187225B发明授权2015-10-21一种可监测刻蚀过程的等离子体处理装置基本电气元件倪图强;黄智林;徐朝阳;杨平

CN103369810A发明公布2013-10-23一种等离子反应器周旭升;梁洁

CN201681788U实用新型2010-12-22反应腔部件及应用该反应腔部件的等离子体处理装置基本电气元件倪图强;徐朝阳;周旭升

CN103871956A发明公布2014-06-18一种深孔硅刻蚀方法基本电气元件陶铮;松尾裕史;傅远;许颂临;尹志尧

简称: 中微半导体设备
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