传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后,可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。固定端的硅层内设有掺杂硅层，金属层通过氧化硅层的窗口与固定端的掺杂硅层直接接触构成欧姆接触;测温元件由硅层工而成，并在硅层的外表面设有钝化保护层，悬在空气中的测温元件通过固定端固定在支座上的埋层氧化硅上，两个固定端构成测温元件的电通路的两个端子,所述固定端的支撑硅层内设有掺杂硅层
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。所述解装置设置于所述箱体内的底部，用于吸附传感器中的有害气体,本发明的双向数据通信单元是等元件构成的双向通信接口电路,在型硅衬底的背面溅射或淀积或蒸发形成金属层，金属层的材料为铝
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%rh
大气压力：80kpa～116kpa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。在型硅衬底的正面制备光刻胶，光刻后形成硅热元件硅热元件的固定端周围设置的隔离沟槽及正面刻蚀窗口的图形，并采用反应离子刻蚀方法干法刻蚀所露出的氧化硅层及其下面的型硅，刻蚀深度大于型硅与第二步生成的氧化硅层厚度之和，去除光刻胶,刻蚀完成后不仅释放出硅热元件，正面与背面的刻蚀窗口内还形成通孔，所述硅热元件的硅热器的中心投影与通孔中心的投影相重合
传感器性能指标
测量范围：0.00%ch4～4.00%ch4
基本误差 % ch4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%ch4
显示方式：4位led 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（t90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%ch4，报警误差：±0.05%ch4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80db(a)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%ch4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%ch4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：exdib i mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000hz；5~15hz；5~155hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5vdc/20ma的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
第四步，光刻形成正面刻蚀窗口图形，刻蚀去除掉正面刻蚀窗口图形内的氧化硅层，随后采用刻蚀继续去除掉顶层硅，刻蚀停止于埋层氧化硅，刻蚀后在埋层氧化硅层上形成硅元件固定端的结构图形并刻蚀去除掉与背面刻蚀窗口对应的窗口内的其余氧化硅层及顶层硅，所形成的硅元件及与其连接的两个固定端与埋层氧化硅层上的其余顶层硅不相连，同一个硅元件的两个固定端不与硅框架支座上的其余顶层硅相连，也不通过硅框架支座上的其余顶层硅相连,这两种传感器都不能很好的满足物联网对低功耗传感器的应用需求,双向数据传输功能的传感器实施例的电原理图
