黑龙江感应耦合等离子体刻蚀机 创世威纳公司

感应耦合等离子体刻蚀机的结构一

预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，不受外界环境（如：粉尘、水汽）的影响，将危险性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。

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感应耦合等离子体刻蚀机的原理

感应耦合等离子体刻蚀法（inductively coupled plasmaetch，感应耦合等离子体刻蚀机安装，简称icpe）是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下，icp射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的rf射频作用下，感应耦合等离子体刻蚀机品牌，这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。

如果需要进行刻蚀，和蚀刻后，除污，感应耦合等离子体刻蚀机供应商，清除浮渣，表面处理，等离子体聚合，等离子体灰化，或任何其他的蚀刻应用，我们能够制造客户完全信任的等离子处理系统，以满足客户的需要。我们既有常规的等离子体蚀刻系统，也有反应性离子蚀刻系统，我们可以制造系列的产品，也可以为客户定制特殊的系统。我们可以提供快速/高品质的蚀刻，减轻等离子伤害，并提供的均匀性。

等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。

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感应耦合等离子体刻蚀机的结构三

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供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器（pc）和质量流量控制器（mfc）精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。

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黑龙江感应耦合等离子体刻蚀机-创世威纳公司由北京创世威纳科技有限公司提供。北京创世威纳科技有限公司（www.weinaworld.com.cn）为客户提供“磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,icp,rie,ibe”等业务，公司拥有“创世威纳”等品牌，专注于电子、电工产品制造设备等行业。欢迎来电垂询，联系人：苏经理。