真空设备制造商“株式会社ulvac（爱发科）”在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在工业园区设立，总投资10，350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、led等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，爱发科无油真空泵，太阳电池等制造行业提供先进设备。
公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、售后服务等方面的综合优势，受到广大客户的和厚爱。
爱发科真空泵
株式会社ulvac作为追求真空极限（ultimate invacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供先进的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，维修爱发科真空泵，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的先进设备。
油式旋片真空泵机构与工作原理
油式旋片真空泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。在泵腔内偏心地安装带有旋片的转子，转子槽中装有旋片。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气口排出[4]。旋转时将真空泵油抛向泵壳形成于泵壳同心的油环，油环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。图2所示为油式旋片泵的工作原理示意图，泵其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。
油式旋片真空泵使用与维护
油式旋片真空泵使用
和所有转动设备一样，油式旋片真空泵开机前需要在电机风叶处手动盘车，检查泵内是否有异物卡住。之后加相应型号真空泵油到油位且在使用一周内或工作100h换油，因为新配件可能会产生杂质影响抽真空效果。禁止在泵进口放有容易被吸入泵内的东西，爱发科真空泵，泵出口如有手动阀门一定要处于开启状态。然后点动，检查转向是否正确再继续运转。进口管线尽可能短易于保持密封性，以免泄漏减少真空度。
油式旋片真空泵维护
油式旋片真空泵工作介质为真空泵油，真空泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中，所抽物料里的杂质和水非常容易通过抽气进入真空泵油中，这种情况会严重影响真空泵工况甚至烧泵。所以，需要经常对真空泵油进行取样观察。笔者方法如下：在真空泵正常运转后刚停机时(但注意高温高压伤人)油温较高时，用透明瓶装起来，在常温时环境放置24h 后，观察有没：颗粒沉淀物?有没水沉下来?色彩暗浅?具体用以下实例解释。
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