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过滤器dop（pao）检漏法在洁净室中的应用

可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，则应在距hepa至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯（美国环境科学和技术学会）。一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。对于层流罩、超净台上的hepa，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。

气溶胶光度计初始化、设定 、0%参比标准值。

无尘室净化空调系统组成及消毒方法

又不断从室内排出一部分来，合肥无尘车间，这一整套设备就构成了净化空调系统。

净化空调系统的基本构成

净化空调系统所用的设备按作用大致可分为三类:

加热或冷却，净化车间无尘车间安装，加湿或去湿以及净化设备。

将处理后的空气送入各无尘室并使之循环的空气输送设备及其管路。

向系统提供热量，冷量的热、冷源及其管路系统。

净化空调系统的分类

过滤器dop（pao）检漏法在洁净室中的应用

除5套因安装时密封不好，后经重新安装调整再测外，55套过滤器全部达标。

结果判定及处理：过滤器泄漏率应≤0.01%。若hepa在检测过程中，所有点的%leakage（泄漏率%）都不超过0.01%，则判该hepa合格，净化车间无尘车间施工，若有一处超过0.01%，净化无尘车间费用，则判为不合格，并将该点标记出来，需修补或更换。过滤器滤料泄漏处允许用专用胶水修补。

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