工作原理:用过滤介质把容器分隔为上、下腔即构成简单的过滤器。悬浮液加入上腔,在压力作用下通过过滤介质进入下腔成为滤液,固体颗粒被截留在过滤介质表面形成滤渣(或称滤饼)。过滤过程中过滤介质表面积存的滤渣层逐渐加厚,液体通过滤渣层的阻力随之提高,过滤器,过滤速度减小。当滤室充满滤渣或过滤速度太小时,自清洗过滤器,停止过滤,清除滤渣,使过滤介质再生,袋式过滤器,以完成一次过滤循环。

在国外项目中和国内新项目中,F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级,10级或更高等级别的洁净厂房,预过滤器的常见的效率级别为H10,前置过滤器,许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中,过滤器常见配置为:粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年,尤其差的也就几个月。可见,预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。

高压管路过滤器(A):设在泵的出口管道上,有保护污染物不进入系统的作用。因此,可以控制系统的污染物浓度。但是,因为是高压主管路,要受泵的脉动和压力冲击,所以过滤元件的材质,强度要慎重考虑。高压管路过滤器(B):在系统中,为了保护对污染特别敏感的液压件,才安装此过滤器,也称终端过滤器。因而它往往比其他过滤器的过滤粒度小。因此使用时要选择容量大的。另外对元件的材质,强度也同(A)一样要充分考虑。

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