室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，洁净厂房净化工程，末级过滤器效率的变速器变化，车间净化工程，对洁净度的影响增大。以上情况可以引用的图1a～1c看出。作图有关数据：新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3 室内发生量:g1=350个/m3.ming2=3500个/m3.min g3=35000个/m3.min g4=350000个/m3.min 新风量对于全空气量的比率0.03当前有的ic工厂其iso5级(0.3μm)的无尘室工程。
平面布置可以有以下几种方式：外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，安庆净化工程，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。内廊式：净化工程设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和净化工程同级。核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。
非单向流洁净室广泛用于电子工业、生物医1药工业和各种工业洁净室，这类洁净室的进化空调系统的送回风通常采用顶送侧回、顶送顶回等方式，在洁净生产区的技术夹层或技术夹道内布置送回风管、排风管和和各种公用动力管线等。单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。在生物医1药产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等来满足产品生产工艺的要求。
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