人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意。对配合间隙的修正，一般以尺寸l小的为基础。例如，旋片真空泵，旋片式泵往往是转子、旋片两端磨损历害(若装得不正则更甚)，使它们的尺寸变得越来小假如旋片磨损得历害，因此就以所测得的旋片l小尺寸先修正旋片。可细锉包纱纸平推，边磨边测量尺寸和对角尺，直到看不到透亮的缝隙。在工业生产领域里，我们可以看到的是各种生产设备的应用，水环式真空泵，而我们不得不承认这些设备的使用是很有必要的，真空泵，就像是物料泵使用的必要性一样，它可以大大的提高我们的工作效率，同时可以提高我们的工作质量，因此我们就会更加的觉得这样的使用是难能可贵的。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式，爪式，组合式（罗茨＋爪），螺杆式。当今，这些类型被不同生产厂家所广泛应用。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军l工、电子、化工、轻工、石油及医l药等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
在选型微型真空泵时还要考虑以下问题：
微型泵的可靠性问题。
根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，旋片式真空泵，完全根据自己的要求。品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用te制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。
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